基于AFM实时可控纳米加工技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| CONTENTS | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·本课题的研究意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-20页 |
| ·AFM纳米加工技术的应用及其发展 | 第14-17页 |
| ·现有AFM纳米加工技术存在的问题 | 第17-20页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·课题来源 | 第20页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第20-21页 |
| 第二章 实时可控纳米加工技术原理 | 第21-28页 |
| ·实时可控纳米加工技术的原理 | 第21-22页 |
| ·AFM检测系统 | 第22-25页 |
| ·AFM工作原理 | 第22-23页 |
| ·原子力显微镜工作模式 | 第23-25页 |
| ·实时可控纳米加工系统的控制与加工系统 | 第25-26页 |
| ·实时可控纳米加工技术的难点 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第三章 实时可控纳米加工装置的设计 | 第28-50页 |
| ·基于AFM检测控制的加工装置设计 | 第28-35页 |
| ·空间扩大部件的设计 | 第28-30页 |
| ·刀具水平定位装置 | 第30页 |
| ·弹性梁的设计与计算 | 第30-32页 |
| ·悬臂式样品台 | 第32-34页 |
| ·数据采集 | 第34-35页 |
| ·减振系统的设计及分析 | 第35-39页 |
| ·减振系统的重要性及设计 | 第35-37页 |
| ·减振系统对AFM工作稳定性的研究 | 第37-39页 |
| ·刀具微量进给系统的设计与分析 | 第39-49页 |
| ·微进给装置 | 第39-42页 |
| ·微进给装置的任务 | 第39-40页 |
| ·微进给装置的选择 | 第40页 |
| ·微进给装置的控制 | 第40-42页 |
| ·快速精密进给装置 | 第42-49页 |
| ·快速精密进给装置的任务 | 第42页 |
| ·快速精密进给装置的设计与分析 | 第42-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 第四章 加工实验 | 第50-72页 |
| ·实验准备 | 第50-51页 |
| ·探针的选择 | 第50页 |
| ·刀具制备 | 第50页 |
| ·样品选择与制备 | 第50-51页 |
| ·实验操作步骤 | 第51页 |
| ·加工结果的定位研究及实验检验 | 第51-58页 |
| ·样品进给装置 | 第52-55页 |
| ·加工结果定位的实验研究 | 第55-58页 |
| ·初始接触点的判断及实验 | 第58-71页 |
| ·扫描管电压的判断方法及实验 | 第60-65页 |
| ·激光信号值的判断方法及实验 | 第65-71页 |
| ·小结 | 第71-72页 |
| 结论与展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 独创性声明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 区仲荣论文的专家意见及根据意见进行修改和说明 | 第79页 |
