基于VxWorks的板级驱动软件的研究与开发
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·课题目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外发展现状 | 第10-13页 |
| ·论文的研究内容 | 第13-15页 |
| 2 光刻机整机控制原理 | 第15-26页 |
| ·整机控制系统结构 | 第15-18页 |
| ·光刻机软件系统架构 | 第18-19页 |
| ·照明投影控制分系统特点 | 第19-20页 |
| ·剂量控制板驱动软件特点 | 第20-21页 |
| ·TORNADO 嵌入式开发环境 | 第21-23页 |
| ·VXWORKS 嵌入式实时操作系统 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 通用通信网络组件 | 第26-39页 |
| ·基于SOCKET 的通信网络原理 | 第26-29页 |
| ·通信网络组件框架设计 | 第29-32页 |
| ·通信网络组件详细设计 | 第32-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 剂量控制谈判算法 | 第39-52页 |
| ·谈判算法的分析 | 第39-43页 |
| ·曝光参数的处理 | 第43-45页 |
| ·谈判扫描时间范围的机制 | 第45-49页 |
| ·计算实际的曝光参数 | 第49-51页 |
| ·谈判最小准备时间的机制 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 板级驱动程序开发 | 第52-69页 |
| ·剂量控制板驱动软件概述 | 第52-57页 |
| ·剂量控制板驱动软件详细设计 | 第57-65页 |
| ·剂量控制板驱动软件测试 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 6 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·全文总结 | 第69页 |
| ·展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75页 |
