金属铜薄膜的变形行为及其尺度控制效应
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| ·薄膜材料概述 | 第10页 |
| ·薄膜材料的应用 | 第10-12页 |
| ·薄膜材料的制备方法 | 第12-13页 |
| ·薄膜中的应力和薄膜的附着力 | 第13-15页 |
| ·薄膜中的应力 | 第13页 |
| ·薄膜中的附着力 | 第13-15页 |
| ·薄膜材料的组态分类 | 第15-16页 |
| ·薄膜材料的尺寸效应 | 第16-17页 |
| ·薄膜材料非均匀塑性变形时的几何需要位错 | 第17-19页 |
| ·应变梯度理论与材料的特征尺度 | 第19-22页 |
| ·本课题的研究目的及内容 | 第22-23页 |
| 2 实验材料、设备及方法 | 第23-29页 |
| ·实验材料 | 第23-24页 |
| ·实验设备 | 第24-25页 |
| ·实验方法 | 第25-29页 |
| ·纳米压痕实验 | 第25-26页 |
| ·Cu-Au多层膜压痕表面观察 | 第26页 |
| ·Cu-Au多层膜横截面TEM样品制备 | 第26页 |
| ·微弯曲实验样品制备 | 第26-27页 |
| ·微弯曲实验 | 第27-28页 |
| ·微弯曲实验样品表面形貌观察 | 第28-29页 |
| 3 纳米压痕及微弯曲实验原理 | 第29-34页 |
| ·压痕法测量硬度和弹性模量的原理 | 第29-31页 |
| ·微弯曲实验原理 | 第31-34页 |
| 4 Cu-Au多层膜的纳米压痕实验结果与分析 | 第34-41页 |
| ·Cu-Au多层膜的力学性能 | 第34-38页 |
| ·Cu-Au多层膜的硬度 | 第34-36页 |
| ·Cu-Au多层膜的弹性模量 | 第36-38页 |
| ·Cu-Au多层膜的变形行为 | 第38-41页 |
| 5 多晶和单晶Cu薄膜的微弯曲实验结果与分析 | 第41-49页 |
| ·多晶和单晶Cu薄膜微弯曲实验结果 | 第41-46页 |
| ·多晶Cu薄膜微弯曲实验结果 | 第41-43页 |
| ·单晶Cu薄膜微弯曲实验结果 | 第43-46页 |
| ·材料特征尺度的对比与分析 | 第46-49页 |
| 6 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 在学研究成果 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
