| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-21页 |
| 1．1 课题的由来、研究目的和意义 | 第11-15页 |
| 1．2 ITO 粉体和ITO 靶材的研究现状和发展趋势 | 第15-19页 |
| 1．3 主要解决的关键技术问题 | 第19-21页 |
| 2 球形ITO 粉末的制备与表征 | 第21-39页 |
| 2．1 前言 | 第21页 |
| 2．2 实验部分 | 第21-23页 |
| 2．3 实验结果及讨论 | 第23-37页 |
| 2．4 本章小结 | 第37-39页 |
| 3 针状ITO 粉末的制备 | 第39-54页 |
| 3．1 前言 | 第39-40页 |
| 3．2 实验部分 | 第40-42页 |
| 3．3 实验结果及讨论 | 第42-52页 |
| 3．4 本章小结 | 第52-54页 |
| 4 球形ITO 粉末的后处理 | 第54-69页 |
| 4．1 前言 | 第54页 |
| 4．2 实验部分 | 第54-55页 |
| 4．3 实验结果及讨论 | 第55-68页 |
| 4．4 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 热等静压制备ITO 靶材 | 第69-99页 |
| 5．1 前言 | 第69页 |
| 5．2 实验部分 | 第69-71页 |
| 5．3 实验结果及讨论 | 第71-97页 |
| 5．4 本章小结 | 第97-99页 |
| 6 烧结法制备ITO 靶材的探索性研究及ITO 膜的制备工艺研究 | 第99-109页 |
| 6．1 前言 | 第99页 |
| 6．2 实验部分 | 第99-100页 |
| 6．3 实验结果及讨论 | 第100-107页 |
| 6．4 本章小结 | 第107-109页 |
| 7 全文总结及展望 | 第109-113页 |
| 7．1 全文的主要结论 | 第109-111页 |
| 7．2 有待继续研究的问题 | 第111页 |
| 7．3 全文的主要创新点 | 第111-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-123页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第123页 |