摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
第1章 绪论 | 第9-17页 |
1.1 引言 | 第9-10页 |
1.2 石英谐振式温度传感器国内、外发展概况 | 第10-12页 |
1.3 数字传感器在传感器及其智能化 | 第12-15页 |
1.3.1 传感器的发展方向 | 第13-14页 |
1.3.2 数字传感器在传感器中的地位 | 第14-15页 |
1.4 本文主要研究的内容 | 第15-17页 |
第2章 石英音叉温度传感器的工作原理 | 第17-40页 |
2.1 硅材料 | 第17-18页 |
2.2 压电效应与石英晶体的特性 | 第18-21页 |
2.3 石英音叉温度传感器工作原理 | 第21-34页 |
2.3.1 切型的选择 | 第23-24页 |
2.3.2 石英音叉谐振模式及其频率特性 | 第24-27页 |
2.3.3 频率温度系数和石英晶体切角 | 第27-29页 |
2.3.4 提高信噪比 | 第29-30页 |
2.3.5 减少串联等效振子电阻 | 第30-31页 |
2.3.6 缩短响应时间和提高稳定性 | 第31-33页 |
2.3.7 频率的不确定度对测温的影响 | 第33-34页 |
2.3.8 过热误差 | 第34页 |
2.4 制造工艺 | 第34-37页 |
2.5 温度-频率特性测试 | 第37-38页 |
2.6 本章小结 | 第38-40页 |
第3章 温度-频率特性硬件测量技术 | 第40-55页 |
3.1 石英音叉温度传感器温度-频率特性的测量 | 第40-45页 |
3.1.1 频率(周期)的数字测量技术 | 第40-43页 |
3.1.2 频率(周期)的测量误差与测量范围 | 第43-45页 |
3.2 石英音叉温度传感器温度-频率信号的检测 | 第45-52页 |
3.2.1 石英音叉温度传感器特性的等精度数字测频的基本原理 | 第46-47页 |
3.2.2 石英音叉温度传感器特性等精度数字测频的硬件实现 | 第47-52页 |
3.3 石英温度传感器的微机定标系统 | 第52-54页 |
3.4 本章小结 | 第54-55页 |
第4章 石英音叉温度传感器特性非线性处理技术的研究 | 第55-62页 |
4.1 石英温度传感器的静态特性的数据处理方法 | 第55-59页 |
4.1.1 石英温度传感器的静态特性 | 第55页 |
4.1.2 石英温度传感器的静态特性数据性处理 | 第55-59页 |
4.2 石英温度传感器特性的数据仿真与应用 | 第59-61页 |
4.3 本章小结 | 第61-62页 |
结论 | 第62-64页 |
参考文献 | 第64-67页 |
攻读学位期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
致谢 | 第68-69页 |
个人简历 | 第69页 |