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一种新型石英音叉温度传感器的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-17页
 1.1 引言第9-10页
 1.2 石英谐振式温度传感器国内、外发展概况第10-12页
 1.3 数字传感器在传感器及其智能化第12-15页
  1.3.1 传感器的发展方向第13-14页
  1.3.2 数字传感器在传感器中的地位第14-15页
 1.4 本文主要研究的内容第15-17页
第2章 石英音叉温度传感器的工作原理第17-40页
 2.1 硅材料第17-18页
 2.2 压电效应与石英晶体的特性第18-21页
 2.3 石英音叉温度传感器工作原理第21-34页
  2.3.1 切型的选择第23-24页
  2.3.2 石英音叉谐振模式及其频率特性第24-27页
  2.3.3 频率温度系数和石英晶体切角第27-29页
  2.3.4 提高信噪比第29-30页
  2.3.5 减少串联等效振子电阻第30-31页
  2.3.6 缩短响应时间和提高稳定性第31-33页
  2.3.7 频率的不确定度对测温的影响第33-34页
  2.3.8 过热误差第34页
 2.4 制造工艺第34-37页
 2.5 温度-频率特性测试第37-38页
 2.6 本章小结第38-40页
第3章 温度-频率特性硬件测量技术第40-55页
 3.1 石英音叉温度传感器温度-频率特性的测量第40-45页
  3.1.1 频率(周期)的数字测量技术第40-43页
  3.1.2 频率(周期)的测量误差与测量范围第43-45页
 3.2 石英音叉温度传感器温度-频率信号的检测第45-52页
  3.2.1 石英音叉温度传感器特性的等精度数字测频的基本原理第46-47页
  3.2.2 石英音叉温度传感器特性等精度数字测频的硬件实现第47-52页
 3.3 石英温度传感器的微机定标系统第52-54页
 3.4 本章小结第54-55页
第4章 石英音叉温度传感器特性非线性处理技术的研究第55-62页
 4.1 石英温度传感器的静态特性的数据处理方法第55-59页
  4.1.1 石英温度传感器的静态特性第55页
  4.1.2 石英温度传感器的静态特性数据性处理第55-59页
 4.2 石英温度传感器特性的数据仿真与应用第59-61页
 4.3 本章小结第61-62页
结论第62-64页
参考文献第64-67页
攻读学位期间发表的学术论文第67-68页
致谢第68-69页
个人简历第69页

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