| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-17页 |
| 第一节 光学薄膜技术概述 | 第8-11页 |
| ·光学薄膜的性能 | 第8页 |
| ·光学薄膜的制备技术 | 第8-11页 |
| ·光学镀膜系统的结构 | 第11页 |
| 第二节 光学薄膜的应用 | 第11-14页 |
| ·光学薄膜在光通信中的应用 | 第11-12页 |
| ·光学薄膜在光显示技术中的应用 | 第12-13页 |
| ·光学薄膜在激光器中的应用 | 第13-14页 |
| 第三节 国内外光学膜厚监控系统的研究现状 | 第14-15页 |
| 第四节 光学膜厚监控系统研究的目的和意义 | 第15页 |
| 参考文献 | 第15-17页 |
| 第二章 光学膜厚监控系统的原理 | 第17-24页 |
| 第一节 薄膜厚度的监控方法 | 第17-22页 |
| 第二节 光学膜厚监控系统结构 | 第22-23页 |
| 第三节 小结 | 第23页 |
| 参考文献 | 第23-24页 |
| 第三章 锁相放大器的原理及仿真 | 第24-40页 |
| 第一节 锁相放大器-同步相干检测的原理 | 第24-28页 |
| ·相关函数和相关检测 | 第24-25页 |
| ·锁相放大器的原理 | 第25-28页 |
| 第二节 噪声模拟 | 第28-33页 |
| ·含宽带噪声的信号输入 | 第28-31页 |
| ·含频率噪声的信号输入 | 第31-33页 |
| 第三节 系统设计需考虑问题的模拟分析 | 第33-38页 |
| ·乘法器后低通滤波器的选择 | 第33-36页 |
| ·时间延迟的确定 | 第33页 |
| ·低通滤波器阶数的确定 | 第33-36页 |
| ·用方波作参考信号来模拟PSD运算 | 第36-37页 |
| ·PSD前加入带通滤波器 | 第37-38页 |
| 第四节 小结 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 第四章 系统设计 | 第40-56页 |
| 第一节 信号源 | 第40-41页 |
| 第二节 光电转换(前置放大)电路 | 第41-47页 |
| ·工作频率的确定 | 第42页 |
| ·光电二极管的选择 | 第42-43页 |
| ·前置放大电路的噪声分析和反馈电容、反馈电阻、运算放大器的选择 | 第43-47页 |
| 第三节 交流放大电路、滤波电路、PLL电路和AD转换 | 第47-52页 |
| ·交流放大电路 | 第47-48页 |
| ·模拟滤波电路 | 第48-51页 |
| ·锁相环(PLL)电路 | 第51页 |
| ·AD转换 | 第51-52页 |
| 第四节 数字信号处理 | 第52-55页 |
| 第五节 小结 | 第55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |
| 第五章 系统性能的实验研究 | 第56-59页 |
| 第一节 高精度数字式光学膜厚监控系统的精度和稳定性 | 第56-57页 |
| 第二节 高精度数字式系统的应用 | 第57-58页 |
| 第三节 小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结 | 第59-61页 |
| 第一节 结论 | 第59-60页 |
| 第二节 需要进一步研究的工作 | 第60页 |
| 参考文献 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读学位期间发表的论文及获奖情况等 | 第62-63页 |
| 声明 | 第63页 |
