曲面激光直接写入技术
| 第一章 绪论 | 第1-25页 |
| ·金刚石车削 | 第7-10页 |
| ·软刻蚀 | 第10-15页 |
| ·激光直接写入技术 | 第15-22页 |
| ·本文的主要工作 | 第22-24页 |
| 本章小结 | 第24-25页 |
| 第二章 激光直接写入原理 | 第25-38页 |
| ·激光直接写入系统 | 第25-27页 |
| ·胶层内的光振幅分布 | 第27-28页 |
| ·光刻胶对光强的吸收 | 第28-29页 |
| ·基底反射对胶层内光强分布的影响 | 第29-30页 |
| ·曝光量的计算 | 第30-34页 |
| ·显影过程分析 | 第34-35页 |
| ·模拟计算和实验 | 第35-37页 |
| 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 接头对接技术 | 第38-47页 |
| ·起止点不闭合的现象 | 第38页 |
| ·封闭性不好的原因 | 第38-41页 |
| ·常见的对接技术 | 第41页 |
| ·优化端部数据对接方法 | 第41-44页 |
| ·实验 | 第44-46页 |
| 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 球面上衍射光学元件制作技术 | 第47-65页 |
| ·曲面上光刻胶的涂布方法的选择 | 第48页 |
| ·离心法涂布光刻胶的基本过程 | 第48-50页 |
| ·曲面上光刻胶层的力学分析 | 第50-52页 |
| ·曲面上涂布光刻胶胶厚分布数学模型及涂布方法 | 第52-56页 |
| ·同转轴和光轴的对准 | 第56-60页 |
| ·待加工表面回转中心和工作台回转中心的对准 | 第60-62页 |
| ·球面上微图形的写入策略 | 第62-63页 |
| ·实验结果 | 第63-64页 |
| 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 用于凸非球面检测的曲面全息图的制作 | 第65-73页 |
| ·检测原理 | 第65页 |
| ·曲面全息图的制作 | 第65-70页 |
| ·基片预处理、涂胶和前烘 | 第65-66页 |
| ·写入策略 | 第66-67页 |
| ·显影和后烘 | 第67页 |
| ·图形转移 | 第67-69页 |
| ·制作结果 | 第69-70页 |
| ·检测结果 | 第70-72页 |
| 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 结论与展望 | 第73-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 博士期间发表论文 | 第81-82页 |
| 作者简历 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-92页 |
