| 第一章 引言 | 第1-10页 |
| 第二章 文献综述 | 第10-36页 |
| 第2.1节 GaN材料综述 | 第10-18页 |
| 第2.2节 流体力学基本概念 | 第18-26页 |
| 第2.3节 Fluent软件介绍 | 第26-36页 |
| 第三章 HVPE系统的模拟计算 | 第36-58页 |
| 第3.1节 HVPE系统模型的建立 | 第36-41页 |
| 第3.2节 边界条件 | 第41-43页 |
| 第3.3节 载气条件的确定 | 第43-45页 |
| 第3.4节 GaCl管道空间位置的影响 | 第45-50页 |
| 第3.5节 NH3管道空间位置的影响 | 第50-54页 |
| 第3.6节 NH3载气参数的影响 | 第54-56页 |
| 第3.7节 新反应室设计 | 第56-58页 |
| 第四章 主要结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录 | 第62页 |