| 第一章 前言 | 第1-17页 |
| ·光刻技术的现状 | 第8页 |
| ·光学光刻的分辨率增强技术 | 第8-11页 |
| ·分数傅立叶域滤波改善光刻成像质量新方法 | 第11-13页 |
| ·分数傅立叶变换的发展概况 | 第11-12页 |
| ·分数傅立叶滤波在改善光刻成像质量方面的应用 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要内容 | 第13-14页 |
| 参考文献 | 第14-17页 |
| 第二章 分数傅立叶域滤波光刻成像理论 | 第17-39页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·光刻成像基本原理 | 第17-23页 |
| ·影响光刻成像质量的几个重要指标 | 第18-20页 |
| ·光刻成像系统中部分相干成像理论 | 第20-23页 |
| ·Hopkins有效光源 | 第21页 |
| ·范西特-泽尼克定理 | 第21页 |
| ·部分相干成像 | 第21-23页 |
| ·分数傅立叶变换 | 第23-27页 |
| ·分数傅立叶的定义 | 第23-24页 |
| ·分数傅立叶变换基本性质 | 第24-25页 |
| ·分数傅立叶变换的光学实现 | 第25-27页 |
| ·光刻成像系统中分数傅立叶域滤波基本原理 | 第27-35页 |
| ·瞳孔滤波 | 第27-29页 |
| ·信息处理中的分数傅立叶域滤波基本思想 | 第29-30页 |
| ·部分相干成像系统中的分数傅立叶域滤波理论 | 第30-35页 |
| ·广义空间滤波系统 | 第30-31页 |
| ·部分相干成像系统中分数傅立叶域滤波的基本理论 | 第31-32页 |
| ·部分相干成像系统中分数傅立叶域滤波方法和滤波函数的推导 | 第32-35页 |
| ·分数傅立叶域滤波的特点及前景 | 第35-37页 |
| 参考文献 | 第37-39页 |
| 第三章 分数傅立叶滤波改善光刻成像质量的模拟计算 | 第39-68页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·快速分数傅立叶变换算法 | 第39-43页 |
| ·分数傅立叶变换快速算法一 | 第39-40页 |
| ·分数傅立叶变换快速算法二 | 第40-43页 |
| ·分数傅立叶滤波改善光刻成像质量模拟分析 | 第43-67页 |
| ·分数傅立叶域滤波前后空间像的比较分析 | 第46-47页 |
| ·分数傅立叶域滤波前后离焦情况比较分析 | 第47-54页 |
| ·分数傅立叶域滤波前后离焦的空间像的比较分析 | 第47-50页 |
| ·分数傅立叶域滤波前后离焦的线宽偏差、面积偏差的比较分析 | 第50-54页 |
| ·分数傅立叶域滤波片位置对面积偏差、线宽偏差的影响分析 | 第54-56页 |
| ·分数傅立叶域滤波前后不同线宽对面积偏差、线宽偏差的影响 | 第56-61页 |
| ·实例模拟计算分析 | 第61-67页 |
| ·模拟结果小结 | 第67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第四章 总结 | 第68-69页 |
| 附录 | 第69-71页 |
