中文摘要 | 第1-5页 |
英文摘要 | 第5-12页 |
第一章 绪论 | 第12-23页 |
1.1 引言 | 第12页 |
1.2 非球面的检测 | 第12-17页 |
1.3 补偿法检测非球面的关键技术 | 第17-19页 |
1.4 本论文的研究内容及研究的意义 | 第19-20页 |
参考文献 | 第20-23页 |
第二章 小尺寸大偏离量的非球面检测用补偿器设计 | 第23-50页 |
2.1 引言 | 第23-24页 |
2.2 大数值孔径光学头读出物镜设计与检测 | 第24-34页 |
2.2.1 单片非球面读出物镜的设计 | 第24-27页 |
2.2.2 DVD光学头读出物镜的设计 | 第27-32页 |
2.2.2.1 DVD光学头读出物镜的参数及其确定 | 第27-28页 |
2.2.2.2 物镜设计 | 第28-31页 |
2.2.2.3 透镜的容差分析 | 第31-32页 |
2.2.3 DVD光学头读出物镜的波像差检测方案 | 第32-34页 |
2.3 小尺寸大偏离量的气球面检测用补偿器设计 | 第34-45页 |
2.3.1 补偿法零检验原理 | 第34-35页 |
2.3.2 被检模芯非球面的分析及其检测方法的选用 | 第35-38页 |
2.3.3 检观小尺寸、大偏离量非球面的补偿器设计 | 第38-42页 |
2.3.4 补偿器的精度分析 | 第42-45页 |
2.4 本章小结 | 第45-48页 |
参考文献 | 第48-50页 |
第三章 光学玻璃光学均匀性测量 | 第50-67页 |
3.1 引言 | 第50页 |
3.2 国内光学均匀性测量现状及存在的问题 | 第50-51页 |
3.3 大口径光学均匀性测量仪的研制 | 第51-60页 |
3.3.1 测量原理的选择 | 第51-53页 |
3.3.2 大口径光学均匀性测量仪的组成 | 第53-54页 |
3.3.3 干涉图数据处理方法与原理 | 第54-57页 |
3.3.4 数据处理流程 | 第57-58页 |
3.3.5 实测结果 | 第58-60页 |
3.4 利用Zygo干涉仪的光学均匀性测量数据处理程序 | 第60-63页 |
3.5 两种新的光学均匀性绝对测量方法 | 第63-65页 |
3.6 本章小结 | 第65页 |
参考文献 | 第65-67页 |
第四章 补偿器中的大曲率半径面检测 | 第67-77页 |
4.1 引言 | 第67页 |
4.2 大曲率半径面的常用检测方法及其存在的问题 | 第67-68页 |
4.3 利用长焦距发生器的高精度检测方法 | 第68-70页 |
4.4 长焦距发生器检测法的精度分析 | 第70-75页 |
4.4.1 曲率半径的检测精度分析 | 第70-71页 |
4.4.2 球面面形的检测精度分析 | 第71-75页 |
4.5 本章小结 | 第75页 |
参考文献 | 第75-77页 |
第五章 柱面镜补偿检测中的调整技术 | 第77-88页 |
5.1 引言 | 第77页 |
5.2 柱面镜的主要检测方法 | 第77-78页 |
5.3 用常用干涉仪检测柱面镜的方法 | 第78-80页 |
5.4 补偿法检测凹柱面镜中的计算机辅助调整技术 | 第80-86页 |
5.4.1 检测的光路 | 第80-81页 |
5.4.2 调整的理论分析计算 | 第81-84页 |
5.4.3 调整的过程 | 第84-85页 |
5.4.4 最后调整结果及结论 | 第85-86页 |
5.5 本章小结 | 第86页 |
参考文献 | 第86-88页 |
第六章 总结 | 第88-90页 |
6.1 论文的研究成果 | 第88-89页 |
6.2 论文的主要创新点 | 第89-90页 |
附录 | 第90-92页 |
致谢 | 第92页 |