紫外LED光纤光刻系统关键技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·掩膜式光刻技术 | 第8-10页 |
| ·无掩膜光刻技术 | 第10-14页 |
| ·电子束光刻技术 | 第10-11页 |
| ·离子束光刻技术 | 第11页 |
| ·激光束直写系统 | 第11-12页 |
| ·空间图形发生器（SLM）数字式无掩膜光刻 | 第12-13页 |
| ·基于光纤的光刻技术 | 第13-14页 |
| ·论文的研究意义和研究内容 | 第14-16页 |
| 2 光纤光刻系统的光源设计 | 第16-25页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·光刻加工中常用的紫外光源 | 第16-19页 |
| ·高压汞灯 | 第16-17页 |
| ·紫外激光器 | 第17-18页 |
| ·紫外发光二极管 | 第18-19页 |
| ·LED 驱动电路的设计 | 第19-23页 |
| ·线性恒流源驱动电路的设计 | 第20-21页 |
| ·LED 亮度控制电路的设计 | 第21-23页 |
| ·LED 的散热设计 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 光纤光刻系统的光学设计 | 第25-49页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·部分相干光理论 | 第25-29页 |
| ·理论分析 | 第25-26页 |
| ·高斯—谢尔模型光束 | 第26-28页 |
| ·LED 的相干性 | 第28-29页 |
| ·光纤耦合光路的设计 | 第29-34页 |
| ·LED 准直光路设计 | 第29-32页 |
| ·光纤耦合透镜的设计 | 第32-34页 |
| ·光纤聚焦光路设计 | 第34-40页 |
| ·自聚焦透镜 | 第34-36页 |
| ·自聚焦透镜的几何光学行为 | 第36-37页 |
| ·光纤出射光束的聚焦 | 第37-40页 |
| ·光纤光刻系统的调焦 | 第40-46页 |
| ·光纤光刻调焦光路 | 第41-45页 |
| ·调焦的搜索方法 | 第45-46页 |
| ·光纤透镜在光纤光刻中的应用 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 扫描系统与控制电路设计 | 第49-63页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·扫描系统机械部分的设计 | 第49-53页 |
| ·直线运动方式的选择 | 第49-50页 |
| ·导轨的选择 | 第50-51页 |
| ·主轴系统的选择 | 第51-52页 |
| ·消隙结构的选择 | 第52页 |
| ·整体扫描方案的设计 | 第52-53页 |
| ·永磁无刷直电机及控制系统 | 第53-56页 |
| ·无刷直流电机控制策略 | 第53-54页 |
| ·无刷直流电机的驱动方式 | 第54页 |
| ·基于MC33033 无刷直流电机的控制电路 | 第54-56页 |
| ·径向扫描控制电路的设计 | 第56-62页 |
| ·双极性可逆PWM 驱动系统的控制原理 | 第57页 |
| ·基于LMD18200 芯片的直流马达控制电路 | 第57-59页 |
| ·控制电路的设计 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 5 光纤微光刻实验 | 第63-72页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·光刻工艺 | 第63-66页 |
| ·光刻工艺步骤 | 第63-64页 |
| ·关键参数的理论分析 | 第64-66页 |
| ·光纤光刻实验研究 | 第66-71页 |
| ·光刻胶的相关实验 | 第66-68页 |
| ·光刻微孔实验与实验结果分析 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 6 总结与展望 | 第72-73页 |
| ·总结 | 第72页 |
| ·存在的问题及展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录 | 第77-79页 |
| A.作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第77页 |
| B.扫描电机控制程序调试代码 | 第77-79页 |
| C.扫描电机控制电路PCB 布局布线图 | 第79页 |
