| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-16页 |
| ·振动式电磁微型发电机 | 第9-10页 |
| ·振动式压电微型发电机 | 第10-11页 |
| ·振动式静电微型发电机 | 第11-16页 |
| ·研究的目的和主要内容 | 第16页 |
| ·研究的目的 | 第16页 |
| ·主要研究内容 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 2 振动式静电微型发电机的理论模型 | 第17-26页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·振动式静电微型发电机的工作原理和结构设计 | 第17-25页 |
| ·基于平面差分电容器的振动式静电微型发电机 | 第18-21页 |
| ·基于可变电容的振动式静电微型发电机 | 第21-24页 |
| ·谐振系统的结构稳态力学响应分析 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 驻极体的制备方法 | 第26-48页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·驻极体简介 | 第26-27页 |
| ·驻极体充电的相关理论 | 第27-30页 |
| ·充电原理 | 第27-29页 |
| ·热处理和HMDS 化学表面修饰对驻极体电荷稳定性的影响 | 第29-30页 |
| ·微型化驻极体的电晕充电法 | 第30-42页 |
| ·电晕充电法理论分析 | 第30-32页 |
| ·电晕充电法实验平台 | 第32-34页 |
| ·针尖电场分布的计算机模拟 | 第34-35页 |
| ·微型化Teflon 驻极体电晕充电实验 | 第35-38页 |
| ·微型化SiO_2/Si_3N_4 薄膜驻极体电晕充电实验 | 第38-42页 |
| ·微型化驻极体的电击穿充电法 | 第42-45页 |
| ·微型化驻极体的液体接触充电法 | 第45-46页 |
| ·三种充电方法的对比分析 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 微型静电式振动式发电机的制备、封装和测试 | 第48-61页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·采用无机驻极体的振动式静电微型发电机加工工艺及其封装测试 | 第48-57页 |
| ·采用 SiO_2/Si_3N_4 双层无机驻极体的振动式静电微型发电机制备工艺技术 | 第48-51页 |
| ·振动式静电微型发电机的封装 | 第51-52页 |
| ·振动式静电微型发电机样机的性能测试 | 第52-57页 |
| ·采用有机驻极体的振动式静电微型发电机加工工艺及其封装测试 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 总结和展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
