| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-8页 |
| ·空气扰动的测量方法 | 第8-14页 |
| ·一般测量方法 | 第8-9页 |
| ·空气扰动的干涉测量方法 | 第9-14页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第14-15页 |
| 2 虚光栅移相莫尔条纹法 | 第15-32页 |
| ·莫尔技术 | 第15-17页 |
| ·莫尔条纹概述 | 第15-16页 |
| ·莫尔条纹技术 | 第16页 |
| ·移相莫尔技术 | 第16-17页 |
| ·虚光栅移相 | 第17页 |
| ·位相测量方法 | 第17-21页 |
| ·移相干涉术 | 第18-20页 |
| ·空间载波移相法 | 第20页 |
| ·傅立叶变换方法 | 第20-21页 |
| ·移相莫尔技术对干涉图相位的提取 | 第21页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法 | 第21-31页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法的理论基础 | 第22-23页 |
| ·干涉图的处理 | 第23-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 虚光栅移相莫尔条纹法测量干涉腔空气扰动 | 第32-55页 |
| ·ZYGO干涉仪上被测件和参考镜距离变化的干涉腔空气扰动实验 | 第32-41页 |
| ·实验器材以及实验步骤 | 第32-33页 |
| ·波面稳定性评价 | 第33页 |
| ·数据分析 | 第33-41页 |
| ·ZYGO干涉仪上光路局部温度变化的干涉腔空气扰动实验 | 第41-46页 |
| ·实验步骤 | 第42页 |
| ·数据分析 | 第42-46页 |
| ·红外干涉仪上的干涉腔空气扰动实验 | 第46-53页 |
| ·被测件和参考镜距离变化的干涉腔空气扰动实验 | 第47-50页 |
| ·光路局部加热的干涉腔空气扰动实验 | 第50-52页 |
| ·光路受烟雾影响的干涉腔空气扰动实验 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 4 全文总结 | 第55-56页 |
| ·本文的主要工作 | 第55页 |
| ·需要改进的地方和有待解决的问题 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |