基于MEMS技术的硅微神经电极阵列的设计与制造
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·国外研究现状 | 第10-12页 |
| ·国内研究现状 | 第12页 |
| ·课题研究意义 | 第12-14页 |
| ·论文主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 神经信号与神经电记录 | 第15-24页 |
| ·神经细胞和组织的电学特性 | 第15-20页 |
| ·细胞膜静息电位 | 第17-19页 |
| ·细胞膜动作电位 | 第19-20页 |
| ·神经电记录方式 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 神经微电极介绍 | 第24-31页 |
| ·神经微电极 | 第24-28页 |
| ·电极基本概念 | 第24-26页 |
| ·电极工作原理 | 第26-28页 |
| ·整体系统设计 | 第28-29页 |
| ·测量等效电路 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 微电极阵列设计 | 第31-50页 |
| ·微电极阵列材料选择 | 第32-34页 |
| ·基底材料选择 | 第32-33页 |
| ·电极材料选择 | 第33页 |
| ·引线材料选择 | 第33-34页 |
| ·钝化层材料选择 | 第34页 |
| ·几何结构设计 | 第34-48页 |
| ·探针臂长度和测点尺寸的设计分析 | 第34-35页 |
| ·横截面的设计分析 | 第35-39页 |
| ·探针臂宽度的设计分析 | 第39-44页 |
| ·硅的断裂应力和探针强度的分析 | 第44-47页 |
| ·结论 | 第47-48页 |
| ·三维立体结构 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 微加工工艺设计 | 第50-61页 |
| ·微加工工艺概述 | 第50-52页 |
| ·探针制作方案 | 第52-53页 |
| ·制备过程 | 第53-57页 |
| ·版图说明 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 微组装 | 第61-69页 |
| ·裂片和拾取 | 第61-62页 |
| ·电特性测试 | 第62-64页 |
| ·微电极阵列的立体组装 | 第64-68页 |
| ·二维探针与基板的焊接 | 第64-65页 |
| ·ASIC 芯片与基板的焊接 | 第65-66页 |
| ·导线引出 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第七章 动物实验及数据分析 | 第69-73页 |
| 一、实验对象 | 第69页 |
| 二、实验药品、器具 | 第69页 |
| 三、实验过程 | 第69-70页 |
| 四、实验数据的记录与分析 | 第70-73页 |
| 第八章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
