| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-15页 |
| ·氧化锌薄膜的结构 | 第7-9页 |
| ·氧化锌薄膜的光学性质 | 第9-10页 |
| ·氧化锌薄膜的主要研究方向 | 第10-13页 |
| ·离子注入氧化锌薄膜的研究概况 | 第13页 |
| ·本论文的选题意义和主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 实验方法 | 第15-26页 |
| ·氧化锌薄膜的制备 | 第15-16页 |
| ·离子注入 | 第16-20页 |
| ·离子注入原理 | 第17-19页 |
| ·TRIM和SRIM程序 | 第19-20页 |
| ·热处理 | 第20-21页 |
| ·测试方法及原理 | 第21-26页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第21-23页 |
| ·荧光分光光度计(PL) | 第23页 |
| ·紫外－可见分光光度计(UV-Vis) | 第23-25页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第25页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第25-26页 |
| 第三章 氧化锌薄膜的结构和光学性质研究 | 第26-35页 |
| ·氧化锌薄膜的结构分析 | 第26-28页 |
| ·氧化锌薄膜的吸收和透射光谱研究 | 第28-31页 |
| ·氧化锌薄膜的光致发光研究 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第四章 金离子注入的氧化锌薄膜结构、表面形貌和光学性质研究 | 第35-47页 |
| ·金离子注入的氧化锌薄膜结构分析 | 第35-37页 |
| ·金离子注入的氧化锌薄膜XPS分析 | 第37-40页 |
| ·金离子注入的氧化锌薄膜AFM分析 | 第40-41页 |
| ·金离子注入的氧化锌薄膜吸收和透射光谱分析 | 第41-44页 |
| ·金离子注入的氧化锌薄膜光致发光研究 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-54页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |