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非晶态碳膜和碳氮薄膜的结构与性质

中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 前言第8-26页
   ·非晶态碳膜(a-C)的研究背景第8-21页
     ·a-C 薄膜的化学键结构第8-11页
     ·a-C 薄膜的电子性质第11-17页
       ·a-C 薄膜中的类扩展态和局域态第11-14页
       ·缺陷态第14-17页
     ·a-C 薄膜的光学性质第17-18页
     ·a-C 薄膜的电学性质第18-21页
     ·a-C 薄膜研究中存在的问题第21页
   ·掺杂a-C 薄膜第21-25页
     ·掺杂对a-C 薄膜力学性质的影响第21-22页
     ·掺杂对a-C 薄膜磁学性质的影响第22页
     ·掺杂对a-C 薄膜光学性质的影响第22-23页
     ·掺杂对a-C 薄膜电学性质的影响第23-24页
     ·掺杂a-C 薄膜研究中存在的问题第24-25页
   ·本论文的主要工作第25-26页
第二章 样品的制备、结构表征和物性测量第26-33页
   ·非晶态碳膜和碳氮薄膜的制备第26-28页
   ·厚度测量第28页
   ·微观结构表征第28-29页
   ·光学性质测量第29-30页
   ·低温技术和电输运特性测量第30页
   ·缺陷态测量第30-33页
第三章 非晶碳薄膜的结构和性质第33-54页
   ·a-C 薄膜的结构第33-39页
   ·a-C 薄膜的光学性质第39-45页
   ·a-C 薄膜的电学性质第45-49页
   ·a-C 薄膜中的缺陷态第49-53页
   ·本章小结第53-54页
第四章 非晶态碳氮薄膜的结构和性质第54-77页
   ·a-CN 薄膜的结构第54-63页
   ·a-CN 薄膜的光学性质第63-68页
   ·a-CN 薄膜的电学性质第68-71页
   ·a-CN 薄膜中的缺陷态第71-75页
   ·本章小结第75-77页
第五章 结论第77-79页
参考文献第79-89页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第89-90页
致谢第90页

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