非晶态碳膜和碳氮薄膜的结构与性质
中文摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-8页 |
第一章 前言 | 第8-26页 |
·非晶态碳膜(a-C)的研究背景 | 第8-21页 |
·a-C 薄膜的化学键结构 | 第8-11页 |
·a-C 薄膜的电子性质 | 第11-17页 |
·a-C 薄膜中的类扩展态和局域态 | 第11-14页 |
·缺陷态 | 第14-17页 |
·a-C 薄膜的光学性质 | 第17-18页 |
·a-C 薄膜的电学性质 | 第18-21页 |
·a-C 薄膜研究中存在的问题 | 第21页 |
·掺杂a-C 薄膜 | 第21-25页 |
·掺杂对a-C 薄膜力学性质的影响 | 第21-22页 |
·掺杂对a-C 薄膜磁学性质的影响 | 第22页 |
·掺杂对a-C 薄膜光学性质的影响 | 第22-23页 |
·掺杂对a-C 薄膜电学性质的影响 | 第23-24页 |
·掺杂a-C 薄膜研究中存在的问题 | 第24-25页 |
·本论文的主要工作 | 第25-26页 |
第二章 样品的制备、结构表征和物性测量 | 第26-33页 |
·非晶态碳膜和碳氮薄膜的制备 | 第26-28页 |
·厚度测量 | 第28页 |
·微观结构表征 | 第28-29页 |
·光学性质测量 | 第29-30页 |
·低温技术和电输运特性测量 | 第30页 |
·缺陷态测量 | 第30-33页 |
第三章 非晶碳薄膜的结构和性质 | 第33-54页 |
·a-C 薄膜的结构 | 第33-39页 |
·a-C 薄膜的光学性质 | 第39-45页 |
·a-C 薄膜的电学性质 | 第45-49页 |
·a-C 薄膜中的缺陷态 | 第49-53页 |
·本章小结 | 第53-54页 |
第四章 非晶态碳氮薄膜的结构和性质 | 第54-77页 |
·a-CN 薄膜的结构 | 第54-63页 |
·a-CN 薄膜的光学性质 | 第63-68页 |
·a-CN 薄膜的电学性质 | 第68-71页 |
·a-CN 薄膜中的缺陷态 | 第71-75页 |
·本章小结 | 第75-77页 |
第五章 结论 | 第77-79页 |
参考文献 | 第79-89页 |
攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第89-90页 |
致谢 | 第90页 |