| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 引言 | 第11-16页 |
| ·等离子体概述 | 第11页 |
| ·等离子体源 | 第11-13页 |
| ·薄膜与PECVD | 第13-14页 |
| ·本文的研究目的 | 第14-15页 |
| ·本文的安排 | 第15-16页 |
| 2 射频容性耦合等离子体数值模拟的模型和算法 | 第16-34页 |
| ·CCP装置和网格划分 | 第16-17页 |
| ·氧气氮气反应方程式 | 第17-18页 |
| ·流体力学模型 | 第18-25页 |
| ·离子方程组 | 第18-20页 |
| ·电子方程组 | 第20页 |
| ·中性粒子方程 | 第20页 |
| ·电场方程 | 第20页 |
| ·边界条件 | 第20-21页 |
| ·系数的计算 | 第21-25页 |
| ·流体力学模型的无量纲化 | 第25-27页 |
| ·算法介绍 | 第27-33页 |
| ·FCT算法 | 第27-29页 |
| ·隐式Runge-Kutta法 | 第29-32页 |
| ·五点差分格式 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 N_2-5%O_2双频容性耦合放电等离子体的一维模拟 | 第34-59页 |
| ·气压的影响 | 第34-41页 |
| ·电子密度和电子温度 | 第34-35页 |
| ·平均电势 | 第35-36页 |
| ·沉积功率密度和沉积功率 | 第36-37页 |
| ·电负性 | 第37页 |
| ·带电粒子密度 | 第37-39页 |
| ·正离子在下极板处的平均速度和通量 | 第39-40页 |
| ·中性粒子密度 | 第40-41页 |
| ·本节小结 | 第41页 |
| ·高低频电压的影响 | 第41-49页 |
| ·电子、氧负离子、电负性 | 第41-43页 |
| ·电子温度 | 第43-44页 |
| ·功率沉积密度 | 第44-45页 |
| ·正离子密度 | 第45-46页 |
| ·正离子速度和通量 | 第46-48页 |
| ·中性粒子 | 第48页 |
| ·本节小结 | 第48-49页 |
| ·高低频频率的影响 | 第49-55页 |
| ·电子密度和电子温度 | 第49-50页 |
| ·氧负离子密度和电负性 | 第50-52页 |
| ·正离子密度 | 第52-53页 |
| ·离子平均速度和通量 | 第53-54页 |
| ·本节小结 | 第54-55页 |
| ·两极板间距的影响 | 第55-58页 |
| ·电子、氧负离子 | 第55-56页 |
| ·电子温度和功率沉积密度 | 第56-57页 |
| ·正离子 | 第57-58页 |
| ·本节小结 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 4 N_2以及N_2-5%O_2双频容性耦合放电等离子体的二维模拟 | 第59-66页 |
| ·N_2-5%O_2混合气体二维模拟 | 第59-62页 |
| ·电子密度和电子温度 | 第59-60页 |
| ·负离子密度 | 第60-61页 |
| ·正离子通量 | 第61-62页 |
| ·5%O_2对放电的影响 | 第62-65页 |
| ·电子密度 | 第62-63页 |
| ·离子密度和通量 | 第63-64页 |
| ·氮原子密度 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 本文总结 | 第66-67页 |
| 后续展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录A 氧气氮气放电过程中的反应方程式 | 第71-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |