尺蠖式压电步进进针机构的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 第一章 STM 粗进针机构及尺蠖式压电步进机构 | 第8-23页 |
| ·隧道效应及STM 仪器 | 第8-11页 |
| ·STM 粗进针机构研究概况 | 第11-18页 |
| ·尺蠖式压电步进机构发展 | 第18-21页 |
| ·本课题研究的内容和意义 | 第21-23页 |
| 第二章 尺蠖式压电步进进针机构总体设计 | 第23-30页 |
| ·尺蠖式压电步进机构驱动原理 | 第23-24页 |
| ·尺蠖式压电步进机构类型 | 第24-27页 |
| ·尺蠖式压电步进进针机构总体设计 | 第27-30页 |
| 第三章 尺蠖式压电步进进针机构机械结构设计 | 第30-43页 |
| ·进针机构机械结构整体设计 | 第30-31页 |
| ·柔性铰链原理及特征 | 第31-33页 |
| ·利用有限元法进行机械结构的辅助设计 | 第33-35页 |
| ·箝位结构设计 | 第35-38页 |
| ·中间八连杆驱动结构的设计 | 第38-41页 |
| ·导轨设计 | 第41-42页 |
| ·机械材料的选择与加工方案 | 第42-43页 |
| 第四章 尺蠖式压电步进进针机构控制电路设计 | 第43-53页 |
| ·进针机构控制系统整体设计 | 第43-44页 |
| ·进针机构控制波形的研究 | 第44-45页 |
| ·高压驱动电路设计 | 第45-51页 |
| ·采集控制卡和驱动波形的编写 | 第51-53页 |
| 第五章 实验及数据处理 | 第53-71页 |
| ·进针机构运动特性测试方案 | 第53-54页 |
| ·实验设备及实验环境 | 第54-55页 |
| ·进针机构水平方向性能测试 | 第55-60页 |
| ·进针机构竖直方向性能测试 | 第60-65页 |
| ·基于隧道效应的进针实验 | 第65-71页 |
| 第六章 总结和展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
