| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·ZnO材料的基本性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO材料的研究进展 | 第11-13页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第13-15页 |
| ·本论文的选题背景和主要研究内容 | 第15-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备与检测 | 第19-28页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法概述 | 第19-22页 |
| ·ZnO薄膜的检测方法概述 | 第22-25页 |
| ·ZnO薄膜的制备与检测 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-28页 |
| 第三章 Al掺杂浓度对玻璃衬底上ZnO薄膜结构和光学特性的影响 | 第28-36页 |
| ·Al掺杂浓度对ZnO薄膜微结构的影响 | 第28-30页 |
| ·Al掺杂浓度对ZnO薄膜光学特性的影响 | 第30-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第四章 不同衬底和退火温度对Al掺杂ZnO薄膜结构和光学特性的影响 | 第36-43页 |
| ·不同衬底对Al掺杂ZnO薄膜结构和光学特性的影响 | 第36-39页 |
| ·退火温度对Al掺杂ZnO薄膜结构和光学特性的影响 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第五章 Si衬底Al掺杂ZnO薄膜的结构和光学特性的研究 | 第43-50页 |
| ·Al掺杂浓度对Si衬底ZnO薄膜微结构的影响 | 第43-45页 |
| ·退火时间对Si衬底ZnO薄膜微结构和光学特性的影响 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第六章 总结与展望 | 第50-52页 |
| ·总结 | 第50-51页 |
| ·展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 附录:攻读硕士学位期间发表的论文 | 第53页 |
