| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 碳化硅概述 | 第13-16页 |
| 1.1.1 碳化硅的基本结构 | 第13-14页 |
| 1.1.2 碳化硅的性能 | 第14-15页 |
| 1.1.3 碳化硅的应用 | 第15-16页 |
| 1.2 碳化硅的制备方法 | 第16-20页 |
| 1.2.1 固相法 | 第16-17页 |
| 1.2.2 液相法 | 第17-18页 |
| 1.2.3 气相法 | 第18-20页 |
| 1.3 碳化硅陶瓷膜概述 | 第20-21页 |
| 1.3.1 碳化硅陶瓷膜结构 | 第20页 |
| 1.3.2 国内外研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4 本文研究的内容和意义 | 第21-25页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第21-22页 |
| 1.4.2 研究意义 | 第22-25页 |
| 第二章 实验部分 | 第25-37页 |
| 2.1 实验原料及相关参数 | 第25-31页 |
| 2.1.1 微硅粉 | 第25-27页 |
| 2.1.2 葡萄糖 | 第27-28页 |
| 2.1.3 气相白炭黑 | 第28-29页 |
| 2.1.4 沉淀白炭黑 | 第29-31页 |
| 2.1.5 其他 | 第31页 |
| 2.2 实验设备 | 第31-32页 |
| 2.3 实验过程 | 第32-34页 |
| 2.3.1 以微硅粉为硅源制备碳化硅 | 第32-33页 |
| 2.3.2 以气相白炭黑为硅源制备碳化硅 | 第33页 |
| 2.3.3 以沉淀白炭黑为硅源制备碳化硅 | 第33页 |
| 2.3.4 溶胶-凝胶法结合碳热还原法制备纳米碳化硅粉 | 第33-34页 |
| 2.4 性能测试及结构表征 | 第34-37页 |
| 2.4.1 粒度大小及分布 | 第34页 |
| 2.4.2 X-射线衍射(XRD) | 第34页 |
| 2.4.3 显微结构(SEM、TEM) | 第34-35页 |
| 2.4.4 红外分析(FTIR) | 第35页 |
| 2.4.5 拉曼分析(Raman) | 第35-37页 |
| 第三章 以微硅粉为硅源制备碳化硅 | 第37-61页 |
| 3.1 煅烧温度对碳化硅的影响 | 第37-40页 |
| 3.1.1 对物相的影响 | 第37-38页 |
| 3.1.2 对粒度的影响 | 第38-39页 |
| 3.1.3 对微观形貌的影响 | 第39-40页 |
| 3.2 保温时间对碳化硅的影响 | 第40-43页 |
| 3.2.1 对物相的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.2 对粒度的影响 | 第41页 |
| 3.2.3 对微观形貌的影响 | 第41-42页 |
| 3.2.4 对SiC产率的影响 | 第42-43页 |
| 3.3 装样方式对碳化硅的影响 | 第43-46页 |
| 3.3.1 对产物外观的影响 | 第43-44页 |
| 3.3.2 对物相的影响 | 第44-45页 |
| 3.3.3 对微观形貌的影响 | 第45-46页 |
| 3.4 铌掺杂对碳化硅的影响 | 第46-49页 |
| 3.4.1 对物相的影响 | 第46-47页 |
| 3.4.2 对微观形貌的影响 | 第47-49页 |
| 3.5 不同粒度微硅粉制备碳化硅 | 第49-53页 |
| 3.5.1 氢氟酸腐蚀对微硅粉粒度的影响 | 第49-50页 |
| 3.5.2 微硅粉粒度对碳化硅粒度的影响 | 第50-51页 |
| 3.5.3 微硅粉形貌对碳化硅形貌的影响 | 第51-53页 |
| 3.6 除杂顺序对碳化硅纯度的影响 | 第53-54页 |
| 3.7 反应机理研究 | 第54-59页 |
| 3.7.1 晶须生成反应机理 | 第54-56页 |
| 3.7.2 粉体生成反应机理 | 第56-59页 |
| 3.8 本章小结 | 第59-61页 |
| 第四章 不同硅源制备碳化硅 | 第61-69页 |
| 4.1 不同粒径气相白炭黑对碳化硅性能的影响 | 第61-64页 |
| 4.1.1 对碳化硅物相的影响 | 第61-62页 |
| 4.1.2 对碳化硅粒度的影响 | 第62-63页 |
| 4.1.3 对碳化硅微观形貌的影响 | 第63-64页 |
| 4.2 不同粒径沉淀白炭黑对碳化硅性能的影响 | 第64-67页 |
| 4.2.1 对碳化硅物相的影响 | 第64-65页 |
| 4.2.2 对碳化硅粒度的影响 | 第65-66页 |
| 4.2.3 对碳化硅微观形貌的影响 | 第66-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 溶胶-凝胶法结合碳热还原法制备碳化硅 | 第69-77页 |
| 5.1 球形硅溶胶的制备 | 第69-72页 |
| 5.1.1 水解温度对硅溶胶粒度的影响 | 第69-70页 |
| 5.1.2 氨水用量对二氧化硅粒度的影响 | 第70-72页 |
| 5.2 碳化硅的制备 | 第72-75页 |
| 5.2.1 不同粒度硅溶胶对碳化硅物相的影响 | 第72-73页 |
| 5.2.2 不同粒度硅溶胶对碳化硅粒度影响 | 第73-74页 |
| 5.2.3 不同粒度硅溶胶对碳化硅微观形貌的影响 | 第74-75页 |
| 5.3 本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 结论与展望 | 第77-79页 |
| 6.1 结论 | 第77-78页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第78页 |
| 6.3 展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读硕士期间发表(提交)论文情况 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |