| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 高压FSRD的发展现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 器件结构的发展 | 第12-15页 |
| 1.2.2 载流子寿命控制技术 | 第15-17页 |
| 1.3 FSRD发展中存在的问题 | 第17-19页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第19-20页 |
| 2 高压FSRD的电学特性分析 | 第20-32页 |
| 2.1 高压FSRD的结构参数 | 第20-21页 |
| 2.2 正向导通特性 | 第21-23页 |
| 2.3 浪涌电流特性 | 第23-24页 |
| 2.4 反向击穿特性 | 第24-25页 |
| 2.5 静态雪崩特性 | 第25-27页 |
| 2.6 反向恢复特性 | 第27-29页 |
| 2.7 动态雪崩 | 第29-31页 |
| 2.8 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 高压FSRD雪崩后的峰值电场偏移与电流丝的抑制 | 第32-56页 |
| 3.1 静态雪崩后的峰值电场偏移 | 第32-39页 |
| 3.1.1 器件结构和电场分布模型 | 第32-33页 |
| 3.1.2 结处的峰值电场 | 第33-35页 |
| 3.1.3 峰值电场偏移 | 第35-37页 |
| 3.1.4 参数对峰值电场偏移的影响 | 第37-39页 |
| 3.2 动态雪崩后的峰值电场偏移 | 第39-41页 |
| 3.2.1 结处的峰值电场 | 第39-40页 |
| 3.2.2 峰值电场偏移 | 第40-41页 |
| 3.3 电流丝及其失效机理 | 第41-43页 |
| 3.4 动态雪崩下峰值电场偏移对电流丝的抑制 | 第43-48页 |
| 3.4.1 器件结构 | 第43-44页 |
| 3.4.2 反向恢复初期的峰值电场偏移 | 第44-45页 |
| 3.4.3 峰值电场偏移诱导的正微分电阻 | 第45-46页 |
| 3.4.4 峰值电场偏移对电流丝的抑制 | 第46-48页 |
| 3.5 载流子寿命分布对电流丝的抑制 | 第48-54页 |
| 3.5.1 器件结构和载流子寿命分布模型 | 第49-50页 |
| 3.5.2 电流丝的演变 | 第50-53页 |
| 3.5.3 电流丝的抑制机理 | 第53-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 4 阳极短路二极管(ASD) | 第56-74页 |
| 4.1 ASD的结构特点与工作机理 | 第56-60页 |
| 4.1.1 器件结构特点 | 第56-57页 |
| 4.1.2 器件工作机理 | 第57-60页 |
| 4.2 正向导通特性 | 第60-64页 |
| 4.2.1 注入效率 | 第60-62页 |
| 4.2.2 浪涌特性 | 第62-64页 |
| 4.3 反向击穿特性 | 第64-65页 |
| 4.4 反向恢复特性 | 第65-71页 |
| 4.4.1 寄生晶体管的导通 | 第65-69页 |
| 4.4.2 动态雪崩 | 第69-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-74页 |
| 5 结终端的失效机理与结构改进 | 第74-94页 |
| 5.1 高压FSRD的终端失效分析 | 第74-76页 |
| 5.1.1 失效现象分析 | 第74-75页 |
| 5.1.2 失效机理分析——载流子诱导的电场穿通 | 第75-76页 |
| 5.2 结终端失效机理研究 | 第76-83页 |
| 5.2.1 器件终端结构 | 第76-77页 |
| 5.2.2 反向击穿特性 | 第77-78页 |
| 5.2.3 过应力下的电流丝演变 | 第78-80页 |
| 5.2.4 终端表面的正反馈失效机理 | 第80-83页 |
| 5.3 新型沟槽-场限环复合终端结构 | 第83-88页 |
| 5.3.1 器件结构与工艺 | 第83-84页 |
| 5.3.2 反向击穿特性 | 第84-85页 |
| 5.3.3 动态坚固性 | 第85-88页 |
| 5.4 波状p型电阻区终端结构 | 第88-93页 |
| 5.4.1 器件结构与工艺 | 第88-89页 |
| 5.4.2 反向击穿特性 | 第89-90页 |
| 5.4.3 动态坚固性 | 第90-93页 |
| 5.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 6 高压FSRD的关键工艺研究 | 第94-104页 |
| 6.1 关键工艺分析与设计 | 第94-95页 |
| 6.2 工艺仿真与实验方案 | 第95-98页 |
| 6.2.1 单步工艺仿真 | 第95-96页 |
| 6.2.2 工艺实施方案 | 第96-98页 |
| 6.3 实验结果 | 第98-103页 |
| 6.4 本章小结 | 第103-104页 |
| 7 结论与展望 | 第104-106页 |
| 7.1 主要结论 | 第104-105页 |
| 7.2 创新点 | 第105页 |
| 7.3 展望 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-119页 |
| 攻读学位期间主要研究成果 | 第119页 |