水射流辅助激光刻蚀碳化硅的影响研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第16-28页 |
| 1.1 激光技术简介 | 第16页 |
| 1.2 论文研究的背景及意义 | 第16页 |
| 1.3 溶液辅助激光加工研究现状 | 第16-26页 |
| 1.3.1 水导激光加工 | 第17-19页 |
| 1.3.2 水下激光加工 | 第19-22页 |
| 1.3.3 水射流辅助激光加工 | 第22-26页 |
| 1.4 本文主要研究内容和组织结构 | 第26-27页 |
| 1.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第二章 水射流辅助激光加工理论研究 | 第28-38页 |
| 2.1 激光和固体材料相互作用 | 第28-30页 |
| 2.1.1 激光对材料的作用 | 第28-29页 |
| 2.1.2 材料对激光的吸收和反射 | 第29-30页 |
| 2.2 激光与水之间作用分析 | 第30-34页 |
| 2.2.1 水对激光的反射和吸收 | 第31页 |
| 2.2.2 激光击穿液体介质产生等离子体和冲击波 | 第31-33页 |
| 2.2.3 激光击穿液体介质产生空化现象 | 第33-34页 |
| 2.3 射流冲击冷却作用 | 第34-37页 |
| 2.3.1 射流冲击作用分析 | 第34-35页 |
| 2.3.2 射流冷却作用分析 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 水射流冲击模拟 | 第38-45页 |
| 3.1 水射流介绍 | 第38-39页 |
| 3.2 射流速度和射流流量 | 第39页 |
| 3.3 物理模型建立及仿真分析 | 第39-44页 |
| 3.3.1 软件介绍和建模步骤 | 第39-40页 |
| 3.3.2 物理模型建立 | 第40-41页 |
| 3.3.3 仿真结果分析 | 第41-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 激光加工过程中温度场模拟 | 第45-53页 |
| 4.1 基本传热方程 | 第45-46页 |
| 4.2 模拟步骤 | 第46页 |
| 4.3 激光加工中有限元模型 | 第46-47页 |
| 4.3.1 激光加工中热传导方程数学描述 | 第46-47页 |
| 4.3.2 模型假设 | 第47页 |
| 4.4 激光加工碳化硅材料温度场 | 第47-52页 |
| 4.4.1 激光功率对温度分布的影响 | 第48-50页 |
| 4.4.2 激光移动速度对温度分布的影响 | 第50-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 水射流辅助激光加工碳化硅实验研究 | 第53-65页 |
| 5.1 概述 | 第53页 |
| 5.2 水射流辅助激光加工系统 | 第53-54页 |
| 5.3 实验材料和方法 | 第54-55页 |
| 5.4 工艺参数对槽深和槽宽的影响研究 | 第55-63页 |
| 5.4.1 无水条件下和有水条件下激光刻蚀碳化硅 | 第56-57页 |
| 5.4.2 不同参数条件下激光刻蚀碳化硅 | 第57-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第65页 |
| 6.2 今后研究展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第74页 |
