薄膜参数测量优化算法及其软件实现

致谢	第1-5页
摘要	第5-6页
Abstract	第6-7页
目录	第7-8页
第一章 绪论	第8-15页
·薄膜技术的发展及应用	第8-9页
·薄膜的测试方法	第9-11页
·薄膜测厚仪发展现状	第11-13页
·研究背景，目的，意义	第13-14页
·论文框架	第14-15页
第二章 基于光谱分析的薄膜参数测量系统原理	第15-21页
·反射光谱法的原理	第15-17页
·评价函数和色散模型	第17-19页
·薄膜测厚系统装置	第19-21页
第三章 优化算法	第21-42页
·包络算法	第21-28页
·遗传算法	第28-32页
·模拟退火算法	第32-35页
·混合优化算法	第35-42页
第四章 薄膜测厚系统和软件	第42-53页
·薄膜测厚系统硬件介绍	第42-48页
·薄膜测厚系统软件介绍	第48-53页
第五章 薄膜测试数据分析	第53-64页
·单层薄膜实测数据	第53-56页
·单层薄膜测量结果分析	第56-58页
·多层薄膜测试数据	第58-60页
·薄膜测厚算法性能分析	第60-64页
第六章 总结与展望	第64-66页
·项目总结	第64-65页
·项目展望	第65-66页
参考文献	第66-69页
攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果	第69页