| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 气体传感器的概述 | 第13-14页 |
| 1.1.1 氢气传感器的研究背景 | 第13页 |
| 1.1.2 半导体氢气体传感器的研究进展 | 第13-14页 |
| 1.2 金属氧化物半导体氢气传感器 | 第14-18页 |
| 1.2.1 金属氧化物半导体氢气传感器的材料和结构 | 第15-16页 |
| 1.2.2 金属氧化物半导体氢气传感器的工作原理 | 第16-17页 |
| 1.2.3 金属氧化物半导体氢气传感器的性能参数 | 第17-18页 |
| 1.3 TiO_2和CeO_2纳米材料 | 第18-22页 |
| 1.3.1 TiO_2的晶体结构 | 第18-19页 |
| 1.3.2 TiO_2纳米材料的应用 | 第19-21页 |
| 1.3.3 CeO_2的晶体结构 | 第21-22页 |
| 1.3.4 CeO_2纳米材料的应用 | 第22页 |
| 1.4 氢敏材料的制备方法 | 第22-24页 |
| 1.4.1 溶胶-凝胶法 | 第23页 |
| 1.4.2 磁控溅射 | 第23页 |
| 1.4.3 化学气相沉积 | 第23页 |
| 1.4.4 静电纺丝技术 | 第23-24页 |
| 1.4.5 水热法 | 第24页 |
| 1.5 TiO_2与CeO_2纳米材料在气敏应用中的问题及对策 | 第24-26页 |
| 1.6 本课题的研究目的与意义 | 第26-27页 |
| 2 实验部分 | 第27-33页 |
| 2.1 实验试剂及仪器 | 第27-28页 |
| 2.1.1 化学试剂 | 第27页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第27-28页 |
| 2.2 表征方法 | 第28-33页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第28页 |
| 2.2.2 X射线光电子能谱(XPS) | 第28-29页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第29页 |
| 2.2.4 透射电子显微镜(TEM) | 第29-30页 |
| 2.2.5 比表面积与孔分布(BET) | 第30页 |
| 2.2.6 氢敏性能测试 | 第30-33页 |
| 3 Pd修饰TiO_2纳米颗粒氢气传感器的性能研究 | 第33-44页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 实验过程 | 第33-34页 |
| 3.2.1 Pd修饰锐钛矿TiO_2纳米颗粒的制备 | 第33-34页 |
| 3.2.2 Pd修饰锐钛矿TiO_2纳米颗粒气体传感器件的制备 | 第34页 |
| 3.2.3 Pd修饰锐钛矿TiO_2纳米颗粒的表征 | 第34页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第34-42页 |
| 3.3.1 相结构与形貌研究 | 第34-37页 |
| 3.3.2 比表面积与孔分布分析 | 第37-38页 |
| 3.3.3 氢敏性能分析 | 第38-41页 |
| 3.3.3.1 工作温度对Pd-TiO_2传感器氢敏性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.3.2 气体浓度对Pd-TiO_2传感器氢敏性能的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.3.3 Pd-TiO_2传感器氢敏的周期性、稳定性和选择性研究 | 第40-41页 |
| 3.3.4 氢敏机理分析 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 4 Ag纳米颗粒@TiO_2纳米片的制备及氢敏性能研究 | 第44-56页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 实验过程 | 第44-45页 |
| 4.2.1 Ag纳米颗粒@TiO_2纳米片的制备 | 第44-45页 |
| 4.2.2 Ag纳米颗粒@TiO_2纳米片气体传感器件的制备 | 第45页 |
| 4.2.3 Ag纳米颗粒@TiO_2纳米片的表征 | 第45页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第45-55页 |
| 4.3.1 组成与微观结构研究 | 第45-49页 |
| 4.3.2 比表面积与孔分布分析 | 第49-50页 |
| 4.3.3 氢敏性能分析 | 第50-54页 |
| 4.3.3.1 Ag纳米颗粒@TiO_2纳米片氢气传感器的工作温度 | 第50-52页 |
| 4.3.3.2 气体浓度对Ag纳米颗粒@TiO_2纳米片传感器氢敏性能的影响 | 第52-53页 |
| 4.3.3.3 Ag纳米颗粒@TiO_2纳米片传感器的周期性、稳定性及选择性 | 第53-54页 |
| 4.3.4 氢敏机理分析 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 低温响应的Pd修饰TiO_2@CeO_2纳米棒氢气传感器研究 | 第56-66页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 实验过程 | 第56-57页 |
| 5.2.1 TiO_2@CeO_2纳米棒复合材料的制备 | 第56-57页 |
| 5.2.2 Pd修饰TiO_2@CeO_2纳米棒复合材料的制备 | 第57页 |
| 5.2.3 Pd修饰TiO_2@CeO_2纳米棒复合材料的表征 | 第57页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第57-64页 |
| 5.3.1 相结构和形貌研究 | 第57-59页 |
| 5.3.2 氢敏性能分析 | 第59-63页 |
| 5.3.2.1 Pd修饰TiO_2@CeO_2氢气传感器的工作温度研究 | 第59-60页 |
| 5.3.2.2 Pd修饰TiO_2@CeO_2传感器氢敏响应特性的研究 | 第60-61页 |
| 5.3.2.3 气体浓度对Pd修饰TiO_2@CeO_2传感器氢敏性能的影响 | 第61-62页 |
| 5.3.2.4 Pd修饰TiO_2@CeO_2传感器氢敏的周期性和稳定性研究 | 第62-63页 |
| 5.3.3 氢敏机理分析 | 第63-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-66页 |
| 6 结论与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 结论 | 第66-67页 |
| 6.2 展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-76页 |
| 个人简历及在学期间的研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
