Si-DLC膜微观摩擦性能及弹塑性接触有限元分析
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 前言 | 第11-21页 |
| ·本课题的研究背景与意义 | 第11-12页 |
| ·类金刚石膜国内外研究现状及热点 | 第12-14页 |
| ·微观摩擦学简述 | 第14-15页 |
| ·弹塑性接触及有限元理论 | 第15-19页 |
| ·Hertz理论 | 第15-17页 |
| ·Von Mises屈服准则 | 第17-18页 |
| ·接触问题的有限元分析 | 第18-19页 |
| ·本课题研究的主要内容及论文结构 | 第19-21页 |
| 第二章 Si-DLC膜的制备及表征 | 第21-31页 |
| ·概述 | 第21页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第21-24页 |
| ·实验设备 | 第21-23页 |
| ·基体及前处理方法 | 第23页 |
| ·薄膜的沉积 | 第23-24页 |
| ·薄膜的表征 | 第24-26页 |
| ·薄膜厚度的表征 | 第24页 |
| ·薄膜成分表征 | 第24-26页 |
| ·薄膜的形貌测试 | 第26-29页 |
| ·薄膜的硬度测试 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 Si-DLC膜的微观摩擦性能研究 | 第31-40页 |
| ·概述 | 第31页 |
| ·实验部分 | 第31-32页 |
| ·试验样品 | 第31-32页 |
| ·实验方法 | 第32页 |
| ·结果与分析 | 第32-34页 |
| ·形貌粗糙度和溅射偏压的关系 | 第32-33页 |
| ·薄膜表面粘附力的分析 | 第33-34页 |
| ·薄膜微米尺度摩擦性能研究 | 第34-39页 |
| ·载荷及粘附力对摩擦力的影响 | 第34-36页 |
| ·扫描速率对摩擦力的影响 | 第36页 |
| ·摩擦系数与形貌粗糙度之间的关系 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 探针尺寸对表面粘附和摩擦的影响 | 第40-51页 |
| ·概述 | 第40-41页 |
| ·试验部分 | 第41-42页 |
| ·试验样品 | 第41页 |
| ·实验方法 | 第41-42页 |
| ·接触尺度对粘附力大小的影响 | 第42-45页 |
| ·接触尺度与摩擦力学性能的关系 | 第45-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 弹塑性接触及摩擦热有限元分析 | 第51-68页 |
| ·概述 | 第51-52页 |
| ·接触有限元分析 | 第52-59页 |
| ·镀膜前接触有限元分析 | 第52-57页 |
| ·镀膜后接触摩擦有限元分析 | 第57-59页 |
| ·摩擦热有限元分析理论基础 | 第59-60页 |
| ·摩擦热有限元分析 | 第60-66页 |
| ·镀膜前摩擦热有限元分析 | 第60-64页 |
| ·镀膜后摩擦热有限元分析 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-71页 |
| ·本文的主要研究结论 | 第68-69页 |
| ·研究展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第76页 |
