非接触式微纳结构尺寸测量系统的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第13-26页 |
| 1.1 课题研究的背景和目的 | 第13-15页 |
| 1.2 超精密表面形貌测量方法的研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 接触式测量 | 第15-17页 |
| 1.2.2 非接触式测量 | 第17-23页 |
| 1.3 超精密表面形貌综合测量系统的研究现状 | 第23-25页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第25-26页 |
| 2 测量系统设计 | 第26-35页 |
| 2.1 测量系统总体概述 | 第26-27页 |
| 2.2 机械系统 | 第27-28页 |
| 2.3 光学系统 | 第28-33页 |
| 2.3.1 照明光源 | 第28-29页 |
| 2.3.2 物镜模块 | 第29-30页 |
| 2.3.3 显微光学组件 | 第30-31页 |
| 2.3.4 测量光路结构 | 第31-33页 |
| 2.4 图像采集系统 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 控制系统设计 | 第35-43页 |
| 3.1 软件控制界面设计 | 第35-37页 |
| 3.2 系统初始化控制模块设计 | 第37-38页 |
| 3.3 自动扫描定位控制模块设计 | 第38-40页 |
| 3.4 扫描采集控制模块设计 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 三维重构算法 | 第43-51页 |
| 4.1 三维重构概述 | 第43页 |
| 4.2 三维重构配置及算法 | 第43-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 三维形貌测量实验 | 第51-59页 |
| 5.1 台阶高度的测量 | 第51-56页 |
| 5.2 台阶线宽的测量 | 第56-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 全文总结 | 第59-60页 |
| 6.2 本论文创新点 | 第60页 |
| 6.3 工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 作者简历 | 第65页 |
