| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 金属微纳结构的应用介绍 | 第8-11页 |
| 1.2.1 微纳电子器件 | 第8-9页 |
| 1.2.2 MEMS | 第9页 |
| 1.2.3 超颖材料 | 第9-10页 |
| 1.2.4 SERS | 第10-11页 |
| 1.3 金属微纳结构的主要加工方法 | 第11-13页 |
| 1.3.1 基于光刻的金属蒸镀 | 第11-12页 |
| 1.3.2 金属微纳结构直写技术 | 第12-13页 |
| 1.4 激光光镊技术发展历史 | 第13-14页 |
| 1.5 激光光镊微纳加工技术的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.6 本文的选题目的、意义与研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 800nm飞秒激光光镊直写银线 | 第19-36页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 材料制备及直写实验系统结构简介 | 第19-21页 |
| 2.2.1 银纳米颗粒的配制与表征 | 第19-20页 |
| 2.2.2 直写实验系统结构简介 | 第20-21页 |
| 2.3 800 nm飞秒激光参数对激光光镊直写银线的影响 | 第21-33页 |
| 2.3.1 焦点高度对激光光镊直写的影响 | 第21-23页 |
| 2.3.2 激光功率对银线直写的影响 | 第23-27页 |
| 2.3.3 扫描速度对银线直写的影响 | 第27-30页 |
| 2.3.4 银纳米颗粒溶液浓度对银线直写的影响 | 第30-33页 |
| 2.4 银线的导电性测试 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 激光波长对飞秒激光光镊直写银线的影响 | 第36-40页 |
| 3.1 激光波长对光阱力大小的影响 | 第36-37页 |
| 3.2 激光波长对银线直写的影响 | 第37-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 银二维、三维结构的激光光镊直写 | 第40-45页 |
| 4.1 银二维结构 | 第40-43页 |
| 4.2 银三维结构 | 第43页 |
| 4.3 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 总结与展望 | 第45-47页 |
| 5.1 总结 | 第45-46页 |
| 5.2 展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第51页 |