| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 相关领域发展与研究 | 第13-26页 |
| 1.2.1 温盐深传感技术的发展历程及国内外现状 | 第13-16页 |
| 1.2.2 温盐深检测方法与传感器分类介绍 | 第16-22页 |
| 1.2.3 厚膜温盐深传感器的优势及发展前景 | 第22-26页 |
| 1.3 论文研究内容及结构安排 | 第26-28页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第26页 |
| 1.3.2 结构安排 | 第26-28页 |
| 第2章 温盐深传感机理研究 | 第28-39页 |
| 2.1 铂电阻温度传感机理分析 | 第28-30页 |
| 2.2 电极式电导率传感机理分析 | 第30-34页 |
| 2.3 变极距电容式压力传感机理分析 | 第34-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 传感器总体结构设计与仿真分析 | 第39-65页 |
| 3.1 温盐深敏感元件的材料选择 | 第39-45页 |
| 3.1.1 基片材料 | 第39-42页 |
| 3.1.2 厚膜浆料 | 第42-43页 |
| 3.1.3 引线材料 | 第43-44页 |
| 3.1.4 封装材料 | 第44-45页 |
| 3.2 温盐深传感器设计原则与结构设计 | 第45-50页 |
| 3.2.1 设计原则 | 第45-47页 |
| 3.2.2 厚膜图形设计 | 第47-48页 |
| 3.2.3 结构设计 | 第48-50页 |
| 3.3 传感器多场有限元模拟仿真分析 | 第50-63页 |
| 3.3.1 感压膜片应力场建模与仿真 | 第50-57页 |
| 3.3.2 电导电极敏感电流场建模与分析 | 第57-60页 |
| 3.3.3 厚膜铂电阻温度场建模与仿真 | 第60-63页 |
| 3.4 设计指标 | 第63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第4章 传感器制造工艺与测试系统研究 | 第65-95页 |
| 4.1 温盐深传感器制造工艺及步骤 | 第65-71页 |
| 4.1.1 掩膜板图形设计制作 | 第65-66页 |
| 4.1.2 转印工艺 | 第66-68页 |
| 4.1.3 烧结工艺 | 第68-69页 |
| 4.1.4 温盐深传感器制造步骤 | 第69-71页 |
| 4.2 温度传感器测试系统搭建与性能试验 | 第71-78页 |
| 4.2.1 测试系统搭建 | 第71页 |
| 4.2.2 检测电路设计 | 第71-73页 |
| 4.2.3 标定试验与性能测试 | 第73-77页 |
| 4.2.4 性能评定与误差分析 | 第77-78页 |
| 4.3 电导率传感器测试系统搭建与性能试验 | 第78-84页 |
| 4.3.1 测试系统搭建 | 第78-79页 |
| 4.3.2 检测电路设计 | 第79-80页 |
| 4.3.3 标定试验与性能测试 | 第80-83页 |
| 4.3.4 性能评定与误差分析 | 第83-84页 |
| 4.4 压力传感器测试系统搭建与性能试验 | 第84-91页 |
| 4.4.1 测试系统搭建 | 第84-85页 |
| 4.4.2 检测电路设计 | 第85-87页 |
| 4.4.3 标定试验 | 第87-88页 |
| 4.4.4 性能测试 | 第88-90页 |
| 4.4.5 性能评定与误差分析 | 第90-91页 |
| 4.5 温盐深数据采集与通信系统设计 | 第91-94页 |
| 4.6 本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 传感器非线性补偿与信息融合方法研究 | 第95-115页 |
| 5.1 温盐深传感器非线性补偿方法研究 | 第95-102页 |
| 5.1.1 传感器非线性补偿方法研究 | 第95-98页 |
| 5.1.2 温盐深传感器非线性补偿结果 | 第98-102页 |
| 5.2 温盐深传感器信息融合方法研究 | 第102-113页 |
| 5.2.1 基于二次曲面拟合方程的压力、温度融合方法研究 | 第103-106页 |
| 5.2.2 基于RBF神经网络的温盐深数据融合方法研究 | 第106-110页 |
| 5.2.3 基于灰色神经网络的温盐深数据融合方法研究 | 第110-113页 |
| 5.3 本章小结 | 第113-115页 |
| 结论 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-123页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第123-124页 |
| 致谢 | 第124页 |
