| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 压电陶瓷微定位平台的研究现状 | 第12-20页 |
| 1.2.1 压电陶瓷微定位平台 | 第12-14页 |
| 1.2.2 迟滞非线性模型 | 第14-19页 |
| 1.2.3 迟滞非线性补偿控制方法 | 第19-20页 |
| 1.3 选题来源 | 第20页 |
| 1.4 本文的研究内容安排 | 第20-23页 |
| 第2章 压电陶瓷微定位平台模型的建立 | 第23-39页 |
| 2.1 传统PI模型 | 第23-25页 |
| 2.2 改进率相关PI模型 | 第25-27页 |
| 2.2.1 率相关PI模型 | 第25-26页 |
| 2.2.2 改进率相关PI模型 | 第26-27页 |
| 2.3 参数辨识及模型验证 | 第27-38页 |
| 2.3.1 改进遗传算法 | 第28-31页 |
| 2.3.2 模型验证 | 第31-35页 |
| 2.3.3 实验平台介绍 | 第35-36页 |
| 2.3.4 实验验证 | 第36-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 基于改进率相关PI模型的前馈补偿与复合控制 | 第39-57页 |
| 3.1 前馈控制器的建立与辨识 | 第39-43页 |
| 3.1.1 前馈控制器的建立 | 第39-40页 |
| 3.1.2 参数辨识 | 第40-41页 |
| 3.1.3 前馈控制器验证 | 第41-43页 |
| 3.2 基于改进率相关PI模型的逆迟滞前馈补偿控制 | 第43-48页 |
| 3.2.1 逆迟滞前馈补偿控制 | 第43页 |
| 3.2.2 性能指标 | 第43页 |
| 3.2.3 实验验证及结果分析 | 第43-48页 |
| 3.3 模糊自整定PID和前馈控制相结合的复合控制 | 第48-55页 |
| 3.3.1 模糊自整定PID和前馈相结合的复合控制 | 第48-50页 |
| 3.3.2 实验验证及结果分析 | 第50-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第4章 压电陶瓷微定位平台系统的鲁棒自适应控制方案设计 | 第57-71页 |
| 4.1 鲁棒自适应控制 | 第57-64页 |
| 4.1.1 模型参考自适应控制理论 | 第57-58页 |
| 4.1.2 系统描述 | 第58-60页 |
| 4.1.3 控制器设计 | 第60-64页 |
| 4.2 实验验证及结果分析 | 第64-69页 |
| 4.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 全文总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 全文总结 | 第71-72页 |
| 5.2 研究展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 作者简介及在学期间科研成果 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
