晶体硅电学性能评价

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-23页
·太阳电池概述	第9-10页
·太阳电池发展历史和现状	第9-10页
·光伏产业发展对晶体硅性能参数的要求	第10页
·晶体硅性能研究进展	第10-12页
·单晶硅性能研究进展	第10-11页
·多晶硅性能研究进展	第11-12页
·直拉单晶硅中的杂质和位错	第12-17页
·直拉单晶硅中的氧、碳	第13-14页
·直拉单晶硅中的金属杂质	第14-17页
·直拉单晶硅中的位错	第17页
·冶金多晶硅中的杂质和缺陷	第17-20页
·冶金多晶硅中的氧	第18页
·冶金多晶硅中的金属杂质	第18-19页
·冶金多晶硅中的晶界和位错	第19-20页
·晶体硅的热处理研究现状	第20-21页
·本文研究的主要目的及内容	第21-23页
2 实验方案	第23-28页
·实验路线	第23页
·实验样品	第23-24页
·实验设备及型号	第24-28页
·生长及热处理设备	第24-25页
·测试设备	第25-28页
3 单晶硅评价	第28-37页
·单晶硅电学性能评价	第28-31页
·少子寿命	第28-31页
·电阻率	第31页
·单晶硅杂质分布评价	第31-34页
·单晶硅缺陷评价	第34-36页
·本章小结	第36-37页
4 多晶硅评价	第37-47页
·多晶硅电学性能评价	第37-39页
·少子寿命	第37-38页
·电阻率	第38-39页
·多晶硅杂质分布评价	第39-43页
·多晶硅晶界和缺陷评价	第43-46页
·本章小结	第46-47页
5 晶体硅的热处理实验	第47-56页
·低温热处理对多晶硅电性能的影响	第47-49页
·中温热处理对单晶硅和多晶硅电性能的影响	第49-51页
·三步热处理对单晶硅和多晶硅电性能的影响	第51-54页
·本章小结	第54-56页
结论	第56-57页
参考文献	第57-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第61-62页
致谢	第62-63页