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毛细管放电46.9nm激光与固体靶相互作用的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第12-30页
    1.1 研究的目的及意义第12-13页
    1.2 国内外研究进展及分析第13-29页
        1.2.1 自由电子软X射线激光与固体靶相互作用的研究进展第14-15页
        1.2.2 激光等离子体方案软X射线激光与固体靶相互作用的研究进展第15-18页
        1.2.3 毛细管放电软X射线激光与固体靶相互作用的研究进展第18-26页
        1.2.4 对国内外研究现状的分析第26-29页
    1.3 本文的主要研究内容第29-30页
第2章 46.9nm激光与固体靶相互作用的理论研究第30-47页
    2.1 引言第30页
    2.2 毛细管放电46.9nm激光与固体靶相互作用的过程分析第30-32页
    2.3 46.9nm激光与固体靶相互作用中热过程的模拟第32-46页
        2.3.1 COMSOLMULTIPHYSICS软件及固体传热模块接口第32-34页
        2.3.2 模拟46.9nm激光与固体靶相互作用的思路和过程第34-37页
        2.3.3 对Cu、Si以及宽能带隙电介质材料的温度分布模拟第37-46页
    2.4 本章小结第46-47页
第3章 46.9nm激光原始光斑和聚焦光斑的研究第47-67页
    3.1 引言第47-48页
    3.2 毛细管放电46.9nm激光原始光斑形状的研究第48-53页
        3.2.1 利用Ce:YAG荧光屏测量46.9nm激光的光斑形状第48页
        3.2.2 荧光屏测量激光光斑的光路第48-51页
        3.2.3 毛细管内初始Ar气气压对激光光斑形状的影响第51-52页
        3.2.4 等离子体长度对激光光斑形状的影响第52-53页
    3.3 对46.9nm激光聚焦光斑形状的检测第53-65页
        3.3.1 对46.9nm激光聚焦方式的选择第53-55页
        3.3.2 对超环面镜聚焦46.9nm激光聚焦光斑的研究第55-62页
        3.3.3 对SiC球面反射镜聚焦46.9nm激光的光斑检测第62-65页
    3.4 本章小结第65-67页
第4章 46.9nm激光与Si、Cu以及BaF_2相互作用的实验研究第67-87页
    4.1 引言第67-68页
    4.2 46.9nm激光与Si靶相互作用的实验研究第68-74页
        4.2.1 46.9nm激光与背景光对Si靶表面形貌的改变第69-70页
        4.2.2 激光脉冲个数对Si靶表面形貌的改变第70-72页
        4.2.3 不同位置的聚焦光斑对Si靶表面形貌的改变第72页
        4.2.4 46.9nm激光对Si靶表面损伤机理的分析第72-74页
    4.3 毛细管放电46.9nm激光与Cu靶相互作用的实验研究第74-80页
        4.3.1 46.9nm激光与背景光对Cu靶表面形貌的改变第74-77页
        4.3.2 激光脉冲个数对Cu靶表面形貌的改变第77-78页
        4.3.3 不同位置的聚焦光斑对Cu靶表面形貌的改变第78-79页
        4.3.4 46.9nm激光对Cu靶表面损伤机理的分析第79-80页
    4.4 46.9nm激光与BaF_2靶相互作用的实验研究第80-85页
        4.4.1 激光脉冲个数对BaF_2靶表面形貌的改变第81-83页
        4.4.2 不同位置的聚焦光斑对BaF_2靶表面形貌的改变第83页
        4.4.3 46.9nm激光对BaF_2靶表面损伤机理的分析第83-85页
    4.5 本章小结第85-87页
第5章 46.9nm激光与宽能带隙电介质材料相互作用的实验研究第87-120页
    5.1 引言第87页
    5.2 46.9nm激光与BaF_2相互作用的实验研究第87-111页
        5.2.1 46.9nm激光对BaF_2的烧蚀速率第87-96页
        5.2.2 对BaF_2损伤区域中的激光诱导周期性表面结构的研究第96-111页
    5.3 46.9nm激光与其他宽能带隙电介质材料相互作用的实验研究第111-118页
        5.3.1 46.9nm激光与LiF的相互作用第111-115页
        5.3.2 46.9nm激光与SiO_2晶体的相互作用第115-117页
        5.3.3 46.9nm激光与熔融石英的相互作用第117-118页
    5.4 本章小结第118-120页
结论第120-122页
参考文献第122-131页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果第131-133页
致谢第133-134页
个人简历第134页

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