正负方波调幅电源及静电探针数据采集分析系统研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 等离子体概述 | 第12页 |
| 1.2 等离子体的基本特性 | 第12-13页 |
| 1.3 等离子体参量 | 第13-14页 |
| 1.4 等离子体的分类 | 第14-16页 |
| 1.5 等离子体的应用 | 第16页 |
| 1.6 本文研究内容 | 第16-18页 |
| 2 朗缪尔静电探针诊断原理 | 第18-28页 |
| 2.1 朗缪尔静电探针原理概述 | 第18-20页 |
| 2.1.1 朗缪尔探针的结构和使用条件 | 第18-19页 |
| 2.1.2 朗缪尔探针测量误差的主要来源 | 第19-20页 |
| 2.2 朗缪尔探针的工作原理 | 第20-24页 |
| 2.2.1 朗缪尔探针的电流-电压特性 | 第21-23页 |
| 2.2.2 从探针I?V特性曲线获取等离子体参数 | 第23-24页 |
| 2.3 朗缪尔探针制作和探针电路 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 3 系统硬件设计 | 第28-38页 |
| 3.1 朗缪尔探针诊断系统简介 | 第28-29页 |
| 3.2 系统结构和指标参数 | 第29-32页 |
| 3.3 采集卡简介 | 第32-37页 |
| 3.4 DSP数据处理系统 | 第37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 系统软件设计 | 第38-52页 |
| 4.1 .LabVIEW软件概述 | 第38-39页 |
| 4.2 虚拟仪器与LabVIEW | 第39-42页 |
| 4.3 数据采集与LabVIEW | 第42-43页 |
| 4.4 数据采集设备编程分析 | 第43-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 实验与结果 | 第52-60页 |
| 5.1 实验前述 | 第52页 |
| 5.2 数据采集实例分析 | 第52-57页 |
| 5.3 实验结果及数据分析 | 第57-58页 |
| 5.3.1 等离子体电子温度在不同条件下的变化 | 第57-58页 |
| 5.3.2 等离子体电子密度在不同条件下的变化 | 第58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 总结 | 第60页 |
| 6.2 展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第68-69页 |
