| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 微机电系统的概述 | 第12-13页 |
| 1.2 MEMS制造技术 | 第13-14页 |
| 1.3 MEMS微镜概述 | 第14-21页 |
| 1.3.1 MEMS电磁微镜的驱动方式 | 第15-18页 |
| 1.3.2 MEMS微镜的应用 | 第18-19页 |
| 1.3.3 MEMS微镜控制的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 超声微电容传感器概述及研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4.1 超声微电容传感器概述 | 第21-22页 |
| 1.4.2 超声微电容传感器研究现状 | 第22-23页 |
| 1.5 本文的研究意义 | 第23-24页 |
| 1.6 本文的章节结构 | 第24-26页 |
| 第二章 滑模控制与复合非线性反馈控制理论基础 | 第26-33页 |
| 2.1 滑模控制理论提出 | 第26页 |
| 2.2 滑模控制的基本原理 | 第26-28页 |
| 2.3 滑模理论的发展及应用 | 第28-29页 |
| 2.4 复合非线性反馈控制理论提出 | 第29-30页 |
| 2.5 复合非线性控制理论内容 | 第30-31页 |
| 2.6 复合非线性系统理论发展 | 第31-32页 |
| 2.7 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 电磁驱动微镜系统的建模分析 | 第33-53页 |
| 3.1 电磁驱动微镜介绍 | 第33-35页 |
| 3.2 电磁微镜实验平台 | 第35-36页 |
| 3.3 电磁驱动微镜的建模 | 第36-46页 |
| 3.3.1 电磁线圈模型 | 第36-42页 |
| 3.3.2 微镜磁力矩模型 | 第42-45页 |
| 3.3.3 电磁微镜扭转机械模型 | 第45-46页 |
| 3.4 电磁驱动微镜模型参数选择与验证 | 第46-52页 |
| 3.4.1 模型参数计算及有效性验证 | 第46-52页 |
| 3.4.2 微镜未建模动态分析 | 第52页 |
| 3.5 本章小节 | 第52-53页 |
| 第四章 MEMS电磁微镜PID滑模控制 | 第53-68页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 MEMS微镜系统开环控制 | 第53-54页 |
| 4.3 经典PID控制器设计 | 第54-57页 |
| 4.4 改进PID控制器设计 | 第57-59页 |
| 4.5 滑模控制器设计 | 第59-67页 |
| 4.5.1 经典滑模控制器 | 第59-63页 |
| 4.5.2 PID滑模控制器设计 | 第63-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 MEMS电磁微镜反步滑模控制研究 | 第68-79页 |
| 5.1 引言 | 第68-69页 |
| 5.2 MEMS微镜系统描述 | 第69-70页 |
| 5.3 反步滑模控制器的设计 | 第70-73页 |
| 5.4 MEMS微镜的仿真及实验分析 | 第73-78页 |
| 5.4.1 MEMS电磁微镜仿真 | 第73-74页 |
| 5.4.2 MEMS电磁微镜实验 | 第74-78页 |
| 5.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 基于CMUT的超声微电容传感器的积分滑模复合非线性控制 | 第79-96页 |
| 6.1 引言 | 第79-81页 |
| 6.2 CMUT数学模型 | 第81-86页 |
| 6.2.1 模型标准化 | 第82-83页 |
| 6.2.2 模型线性化 | 第83-86页 |
| 6.3 控制器设计 | 第86-90页 |
| 6.4 仿真分析 | 第90-95页 |
| 6.5 结论 | 第95-96页 |
| 总结和展望 | 第96-99页 |
| 总结 | 第96-97页 |
| 展望 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-109页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第109-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 附件 | 第111页 |