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半导体氧化物热线气体传感器

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
1 绪论第11-30页
    1.1 气体传感器概述第11-19页
        1.1.1 气体传感器的研究背景第11页
        1.1.2 气体传感器简介第11-13页
        1.1.3 气体传感器分类第13-17页
        1.1.4 气体传感器的发展现状第17-18页
        1.1.5 气体传感器存在的问题和发展趋势第18-19页
    1.2 热线型气体传感器第19-22页
        1.2.1 热线型气体传感器简介第19-21页
        1.2.2 热线型气体传感器研究现状第21页
        1.2.3 热线型气体传感器的气敏机理第21-22页
    1.3 SnO_2基气敏材料第22-28页
        1.3.1 SnO_2概述第23页
        1.3.2 纳米 SnO_2气敏材料的制备第23-25页
        1.3.3 SnO_2气敏性研究现状第25-28页
    1.4 选题背景和研究意义第28页
    1.5 课题研究内容第28-30页
2 SnO_2基热线气体传感器第30-40页
    2.1 实验试剂与设备第30页
    2.2 纳米 SnO_2的制备第30-31页
    2.3 材料表征第31-33页
        2.3.1 FT-IR 表征第31-32页
        2.3.2 XRD 表征第32页
        2.3.3 SEM 表征第32-33页
    2.4 SnO_2基热线型气敏元件的制备及气敏性测试第33-34页
        2.4.1 气敏元件的制备第33-34页
        2.4.2 气敏性测试第34页
    2.5 测试结果分析第34-39页
        2.5.1 灵敏度与工作电压第34-35页
        2.5.2 选择性第35-37页
        2.5.3 响应-恢复时间第37-38页
        2.5.4 元件长期稳定性第38-39页
    2.6 本章小结第39-40页
3 ATO 基热线气体传感器第40-54页
    3.1 实验试剂与设备第40-41页
    3.2 材料制备第41-42页
        3.2.1 ATO 纳米材料制备第41-42页
        3.2.2 La/Sb 掺杂 SnO_2纳米材料的制备第42页
        3.2.3 Pt/Sb 掺杂 SnO_2纳米材料的制备第42页
    3.3 材料表征第42-47页
        3.3.1 FT-IR 表征第42-43页
        3.3.2 XRD 表征第43-45页
        3.3.3 SEM 表征第45-46页
        3.3.4 TEM 表征第46-47页
    3.4 La/Sb 掺杂 SnO_2热线型气敏元件的制备及气敏性测试第47-48页
    3.5 测试结果分析第48-52页
        3.5.1 灵敏度与工作电压第48-49页
        3.5.2 选择性第49-50页
        3.5.3 响应-恢复时间第50-51页
        3.5.4 元件长期稳定性第51-52页
    3.6 本章小结第52-54页
4 FTO 基热线气体传感器第54-65页
    4.1 实验试剂与设备第54页
    4.2 纳米 FTO 材料的制备第54-55页
    4.3 材料表征第55-59页
        4.3.1 FT-IR 表征第55-56页
        4.3.2 XRD 表征第56页
        4.3.3 SEM 表征第56-58页
        4.3.4 EDS 表征第58页
        4.3.5 TEM 表征第58-59页
    4.4 FTO 热线型气敏元件的制备及气敏性测试第59页
    4.5 测试结果分析第59-63页
        4.5.1 灵敏度与工作电压第59-60页
        4.5.2 选择性第60-62页
        4.5.3 响应-恢复时间第62-63页
        4.5.4 元件长期稳定性第63页
    4.6 本章小结第63-65页
5 气敏机理分析第65-69页
6 结论第69-71页
参考文献第71-80页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第80-81页
致谢第81页

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