| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 单晶炉体工艺水冷却技术产生的背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 炉体冷却水供水方式的现状及发展趋势 | 第9-12页 |
| 1.2.1 恒速泵直接供水方式 | 第10页 |
| 1.2.2 高位水塔供水方式 | 第10-11页 |
| 1.2.3 高压气罐供水方式 | 第11页 |
| 1.2.4 恒压变频供水方式 | 第11-12页 |
| 1.3 课题目的及意义 | 第12页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 单晶炉冷却系统方案的确定 | 第14-29页 |
| 2.1 单晶炉的结构及工作原理 | 第14-15页 |
| 2.2 单晶炉的对工艺冷却水的技术要求 | 第15-16页 |
| 2.3 单晶炉工艺冷却水降温方案的选择 | 第16-21页 |
| 2.3.1 冷却塔内部冷却+冰机外部冷却法 | 第18页 |
| 2.3.2 冷却塔、冰机两级外部冷却法 | 第18-19页 |
| 2.3.3 深层河流水、冰机两级外部冷却法 | 第19-20页 |
| 2.3.4 液态气体、冷却塔两级内部冷却+冰机外部冷却法 | 第20-21页 |
| 2.3.5 单晶炉工艺冷却水降温方案的确定 | 第21页 |
| 2.4 单晶炉工艺冷却水降温方案的优化设计 | 第21-22页 |
| 2.5 单晶炉工艺冷却水恒压变频控制方案的选择 | 第22-24页 |
| 2.6 单晶炉冷却系统整体方案的确定 | 第24-29页 |
| 2.6.1 单晶炉冷却系统运行中的各种突发情况 | 第24-25页 |
| 2.6.2 单晶炉工艺冷却水的恒压控制方案 | 第25-26页 |
| 2.6.3 单晶炉冷却塔冷却水控制方案 | 第26-27页 |
| 2.6.4 单晶炉冰机冷冻水控制方案 | 第27页 |
| 2.6.5 单晶炉厂房空调冷冻水控制方案 | 第27-28页 |
| 2.6.6 单晶炉冷却系统整体控制方案 | 第28-29页 |
| 第三章 单晶炉冷却系统的硬件设计 | 第29-56页 |
| 3.1 单晶炉冷却系统硬件选型及参数介绍 | 第29-45页 |
| 3.1.1 PLC 硬件系统及软件系统 | 第29-32页 |
| 3.1.2 MICROMASTER 430 系列变频器 | 第32-35页 |
| 3.1.3 WT2000 型智能差压/压力变送器 | 第35-37页 |
| 3.1.4 AI-701 高性能智能化测量报警仪表 | 第37-38页 |
| 3.1.5 Honeywell 9275A 电子温度控制器 | 第38-39页 |
| 3.1.6 一体化超声波液位计 | 第39-41页 |
| 3.1.7 Honeywell 电动对夹式蝶阀 | 第41-42页 |
| 3.1.8 水泵机组 | 第42-44页 |
| 3.1.9 西门子 SMART 700 触摸屏 | 第44-45页 |
| 3.2 硬件电路分析 | 第45-56页 |
| 3.2.1 单晶炉工艺冷却水的恒压变频控制系统 | 第46-48页 |
| 3.2.2 单晶炉工艺冷却备用水恒压控制及三级供水控制系统 | 第48-51页 |
| 3.2.3 单晶炉冷却水、冷冻水控制系统 | 第51-54页 |
| 3.2.4 空调冷冻水的控制系统 | 第54-56页 |
| 第四章 单晶炉冷却系统的软件设计 | 第56-73页 |
| 4.1 软件设计平台简介 | 第56-57页 |
| 4.2 变频器内置 PID 调节器的 PID 控制过程 | 第57-59页 |
| 4.3 单晶炉工艺冷却水恒压变频控制的程序设计 | 第59-63页 |
| 4.3.1 单晶炉工艺冷却水水泵机组的启动流程图 | 第59-60页 |
| 4.3.2 泵间的手动切换流程设计 | 第60-62页 |
| 4.3.3 系统自动控制程序设计 | 第62-63页 |
| 4.4 备用冷却水恒压变频以及三级供水模块控制程序设计 | 第63-66页 |
| 4.4.1 备用冷却水恒压变频控制程序设计 | 第63-64页 |
| 4.4.2 三级供水控制程序设计 | 第64-66页 |
| 4.5 单晶炉冷却水、冷冻水模块控制程序设计 | 第66页 |
| 4.6 单晶炉空调冷冻水模块控制程序设计 | 第66-67页 |
| 4.7 各种参数初始值的设定与系统运行状态 | 第67-73页 |
| 4.7.1 整个系统的运行状态界面 | 第67-68页 |
| 4.7.2 实时参数界面 | 第68-69页 |
| 4.7.3 系统报警参数设定界面 | 第69页 |
| 4.7.4 系统控制界面 | 第69-71页 |
| 4.7.5 系统报警界面 | 第71页 |
| 4.7.6 设备状态页面 | 第71-73页 |
| 第五章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 5.1 结论 | 第73-74页 |
| 5.2 展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-77页 |
