二维并联压电微动平台的自适应控制方法研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 论文的主要工作 | 第13-14页 |
| 2 微动平台的数学模型 | 第14-27页 |
| 2.1 微动平台迟滞模型的建立 | 第14-21页 |
| 2.1.1 PI 迟滞模型的描述 | 第14-16页 |
| 2.1.2 基于阈值优化的改进 PI 迟滞模型 | 第16页 |
| 2.1.3 微动平台迟滞模型的辨识 | 第16-21页 |
| 2.2 微动平台动力学模型的建立 | 第21-26页 |
| 2.2.1 微动平台的运动原理 | 第21-22页 |
| 2.2.2 微动平台的传递函数 | 第22-24页 |
| 2.2.3 微动平台的 CARMAX 模型 | 第24页 |
| 2.2.4 微动平台动力学模型的辨识 | 第24-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 微动平台的前馈控制 | 第27-32页 |
| 3.1 微动平台的前馈控制器设计 | 第27-28页 |
| 3.2 微动平台前馈控制的实验验证 | 第28-31页 |
| 3.2.1 阶跃输入 | 第28-29页 |
| 3.2.2 三角波输入 | 第29-30页 |
| 3.2.3 任意波形输入 | 第30-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 4 微动平台的 PID 反馈控制 | 第32-38页 |
| 4.1 PID 控制原理 | 第32-33页 |
| 4.2 微动平台 PID 反馈控制器的设计 | 第33-34页 |
| 4.3 PID 控制器的参数整定方法 | 第34页 |
| 4.4 微动平台 PID 反馈控制的仿真分析 | 第34-36页 |
| 4.5 微动平台 PID 反馈控制的实验验证 | 第36-37页 |
| 4.5.1 阶跃输入 | 第36页 |
| 4.5.2 三角波输入 | 第36-37页 |
| 4.5.3 任意波形输入 | 第37页 |
| 4.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 5 微动平台的复合控制 | 第38-41页 |
| 5.1 微动平台复合控制器的设计 | 第38页 |
| 5.2 微动平台复合控制的实验验证 | 第38-40页 |
| 5.2.1 阶跃输入 | 第38-39页 |
| 5.2.2 三角波输入 | 第39-40页 |
| 5.2.3 任意波形输入 | 第40页 |
| 5.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 6 微动平台的自适应控制 | 第41-48页 |
| 6.1 微动平台自适应控制原理 | 第41页 |
| 6.2 微动平台自适应控制器的设计 | 第41-44页 |
| 6.3 微动平台自适应控制的仿真分析 | 第44-45页 |
| 6.4 微动平台自适应控制的实验验证 | 第45-47页 |
| 6.4.1 阶跃输入 | 第45-46页 |
| 6.4.2 三角波输入 | 第46页 |
| 6.4.3 任意波形输入 | 第46-47页 |
| 6.5 微动平台各控制方法的比较 | 第47页 |
| 6.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 7 结论与展望 | 第48-50页 |
| 7.1 结论 | 第48页 |
| 7.2 进一步工作展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 在校期间研究成果 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
