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酞菁钴及其氟代物晶体生长机制和场效应器件性能研究

摘要第4-5页
abstract第5页
第一章 文献综述第8-26页
    1.1 有机场效应晶体管概述第8-17页
        1.1.1 有机场效应晶体管的发展历程第8-11页
        1.1.2 有机场效应晶体管的基本结构第11-12页
        1.1.3 有机场效应晶体管的工作机理第12-13页
        1.1.4 有机场效应晶体管的基本参数第13-15页
        1.1.5 有机场效应晶体管的应用第15-17页
    1.2 有机场效应晶体管的半导体材料第17-21页
        1.2.1 p型有机半导体材料第17-19页
        1.2.2 n型有机半导体材料第19-20页
        1.2.3 双极性有机半导体材料第20-21页
    1.3 有机半导体材料晶体的制备方法第21-23页
        1.3.1 物理气相沉积法第21-22页
        1.3.2 溶液法第22-23页
    1.4 本论文的选题依据和意义第23-26页
第二章 实验部分第26-36页
    2.1 主要原料与试剂第26-27页
    2.2 主要实验仪器第27-28页
    2.3 酞菁钴及其氟代物的合成第28-30页
    2.4 酞菁钴及其氟代物晶体制备第30-32页
        2.4.1 物理气相沉积法制备晶体第30-31页
        2.4.2 溶液法制备晶体第31-32页
    2.5 有机场效应晶体管的制备及测试第32-36页
        2.5.1 硅片处理第32页
        2.5.2 绝缘层修饰第32-33页
        2.5.3 源漏电极制备第33-34页
        2.5.4 器件性能测试第34-36页
第三章 结果与讨论第36-68页
    3.1 酞菁钴及其氟代物的收率比较第36页
    3.2 酞菁钴及其氟代物的提纯条件比较第36-37页
    3.3 酞菁钴及其氟代物在DMF中的光物理性能第37-38页
    3.4 F_(16)CoPc晶体的生长机制研究第38-45页
        3.4.1 物理气相沉积法制备F_(16)CoPc晶体第39-42页
        3.4.2 溶液法制备F_(16)CoPc晶体第42-45页
    3.5 氟取代对酞菁钴晶体的生长机制研究第45-51页
        3.5.1 炉体温度对酞菁钴及其氟代物晶体生长的影响第45-47页
        3.5.2 系统压力对酞菁钴及其氟代物晶体生长的影响第47-48页
        3.5.3 基底温度对酞菁钴及其氟代物晶体生长的影响第48-50页
        3.5.4 时间对酞菁钴及其氟代物晶体生长的影响第50-51页
    3.6 酞菁钴及其氟代物晶体生长的机理研究第51-55页
        3.6.1 酞菁钴及其氟代物晶体的生长过程第51-52页
        3.6.2 酞菁钴及其氟代物晶体形貌与晶型的关系第52-55页
    3.7 酞菁钴及其氟代物场效应晶体管的性能研究第55-68页
        3.7.1 OTS修饰SiO2绝缘层的条件优化第55-59页
        3.7.2 F_(16)CoPc场效应晶体管的制备工艺研究第59-63页
        3.7.3 氟取代对器件性能的影响第63-65页
        3.7.4 理论计算说明第65-68页
第四章 结论第68-70页
参考文献第70-78页
发表论文和科研情况说明第78-80页
附录第80-84页
致谢第84-85页

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