微结构气体传感器微热板的设计与优化
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 气体传感器的概述 | 第13-16页 |
| 1.2 半导体气体传感器的工作原理 | 第16-18页 |
| 1.3 基于 MEMS 的新型微结构气体传感器 | 第18-20页 |
| 1.4 微热板的概述 | 第20页 |
| 1.5 微热板设计中的工具介绍 | 第20-24页 |
| 1.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第二章 Ⅰ型微热板结构的设计与优化 | 第25-34页 |
| 2.1 Ⅰ型微热板基底结构的设计与优化 | 第25-27页 |
| 2.1.1 Ⅰ型微热板基底结构的设计 | 第25页 |
| 2.1.2 Ⅰ型微热板基底材料的选择 | 第25-26页 |
| 2.1.3 Ⅰ型微热板基底结构的优化 | 第26-27页 |
| 2.2 Ⅰ型微热板电极结构的设计及优化 | 第27-32页 |
| 2.2.1 电极结构的设计 | 第27-28页 |
| 2.2.2 电极材料的选择 | 第28-29页 |
| 2.2.3 加热电极的优化 | 第29页 |
| 2.2.4 检测电极的优化 | 第29-32页 |
| 2.2.4.1 检测电极结构的优化 | 第29-30页 |
| 2.2.4.2 检测电极位置的优化 | 第30-31页 |
| 2.2.4.3 检测电极宽度的优化 | 第31-32页 |
| 2.3 Ⅰ型微热板的磁场分布 | 第32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 Ⅱ型微热板结构的设计与优化 | 第34-42页 |
| 3.1 Ⅱ型微热板基底结构的设计及优化 | 第34-35页 |
| 3.1.1 Ⅱ型微热板基底结构的设计 | 第34页 |
| 3.1.2 Ⅱ型微热板基底结构的优化 | 第34-35页 |
| 3.2 Ⅱ型微热板电极结构的设计及优化 | 第35-40页 |
| 3.2.1 电极结构的设计 | 第35-36页 |
| 3.2.2 加热电极的优化 | 第36-38页 |
| 3.2.3 检测电极的优化 | 第38-40页 |
| 3.3 Ⅱ型微热板的磁场分布 | 第40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 Ⅲ型微热板结构的设计与优化 | 第42-49页 |
| 4.1 Ⅲ型微热板基底结构的设计及优化 | 第42-43页 |
| 4.1.1 Ⅲ型微热板基底结构的设计 | 第42页 |
| 4.1.2 Ⅲ型微热板基底结构的优化 | 第42-43页 |
| 4.2 Ⅲ型微热板电极结构的设计及优化 | 第43-47页 |
| 4.2.1 电极结构的设计 | 第43-44页 |
| 4.2.2 加热电极的优化 | 第44-46页 |
| 4.2.2.1 加热电极宽度的优化 | 第44-45页 |
| 4.2.2.2 加热电极间距的优化 | 第45-46页 |
| 4.2.3 检测电极的优化 | 第46-47页 |
| 4.2.3.1 检测电极结构的优化 | 第46页 |
| 4.2.3.2 检测电极宽度的优化 | 第46-47页 |
| 4.3 Ⅲ型微热板的磁场分布 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 IV 型微热板结构的设计与优化 | 第49-55页 |
| 5.1 IV 型微热板基底结构的设计及优化 | 第49-50页 |
| 5.1.1 IV 型微热板基底结构的设计 | 第49页 |
| 5.1.2 IV 型微热板基底结构的优化 | 第49-50页 |
| 5.2 IV 型微热板电极结构的设计及优化 | 第50-53页 |
| 5.2.1 电极结构的设计 | 第50-51页 |
| 5.2.2 加热电极的优化 | 第51页 |
| 5.2.3 检测电极的优化 | 第51-53页 |
| 5.2.3.1 检测电极结构的优化 | 第51-52页 |
| 5.2.3.2 检测电极宽度的优化 | 第52-53页 |
| 5.3 IV 型微热板的磁场分布 | 第53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第六章 四种微热板结构的对比 | 第55-57页 |
| 6.1 四种微热板磁场分布的比较 | 第55页 |
| 6.2 四种微热板温度分布的比较 | 第55-56页 |
| 6.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第七章 总结 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录 各种材料的特性参数 | 第62-63页 |
| 作者简介及科研成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
