| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 非球面的发展及研究概况 | 第9-11页 |
| 1.2 子孔径拼接研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 商用的干涉仪及拼接干涉仪介绍 | 第12-14页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第14-16页 |
| 2 非球面基本知识概述 | 第16-27页 |
| 2.1 非球面的定义 | 第16-17页 |
| 2.2 非球面的分类 | 第17-18页 |
| 2.3 二次曲面的光学性质 | 第18页 |
| 2.4 非球面度 | 第18-19页 |
| 2.5 常用的非球面检测方法 | 第19-26页 |
| 2.5.1 面形轮廓法 | 第20页 |
| 2.5.2 无像差点法 | 第20-21页 |
| 2.5.3 光学干涉方法之一：零位检测方法 | 第21-23页 |
| 2.5.4 光学干涉检测方法之二：非零位检测方法 | 第23-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 非球面环形子孔径拼接原理 | 第27-36页 |
| 3.1 非球面环形子孔径拼接检测原理 | 第27-29页 |
| 3.2 拼接算法原理 | 第29-32页 |
| 3.2.1 全局优化拼接算法 | 第30-32页 |
| 3.3 评价函数 | 第32页 |
| 3.3.1 峰谷值(PV) | 第32页 |
| 3.3.2 均方根值(RMS) | 第32页 |
| 3.4 Zygo Verifire干涉仪的检测原理 | 第32-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 非球面环形子孔径拼接仿真 | 第36-48页 |
| 4.1 波面拟合与Zernike多项式 | 第36-38页 |
| 4.2 非球面环形子孔径拼接算法仿真验证 | 第38-41页 |
| 4.3 不同拼接参数对拼接精度的影响仿真 | 第41-47页 |
| 4.3.1 环形子孔径个数对拼接精度的影响 | 第41-42页 |
| 4.3.2 环形子孔径大小对拼接精度的影响 | 第42-44页 |
| 4.3.3 子孔径中心坐标计算误差对拼接结果的影响 | 第44-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 非球面环形子孔径拼接实验 | 第48-55页 |
| 5.1 非球面环形子孔径拼接检测实验系统 | 第48-49页 |
| 5.2 非球面环形子孔径拼接检测实验步骤 | 第49-54页 |
| 5.2.1 实验步骤 | 第49页 |
| 5.2.2 实验过程 | 第49-52页 |
| 5.2.3 数据处理及实验结果 | 第52-54页 |
| 5.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 6 总结与展望 | 第55-57页 |
| 6.1 本文总结 | 第55-56页 |
| 6.2 问题与展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |