| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 IGBT发展概述 | 第8-10页 |
| 1.2 RC IGBT简介 | 第10-12页 |
| 1.3 本课题的研究意义 | 第12-13页 |
| 1.4 本文的主要工作 | 第13-14页 |
| 第二章 Trench IGBT基本理论 | 第14-26页 |
| 2.1 Trench IGBT的结构和工作原理 | 第14-15页 |
| 2.2 Trench IGBT的静态特性 | 第15-19页 |
| 2.3 Trench IGBT的动态特性 | 第19-21页 |
| 2.4 Trench IGBT器件的闩锁效应 | 第21-23页 |
| 2.5 Trench IGBT的安全工作区 | 第23-25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 RC IGBT分析 | 第26-33页 |
| 3.1 RC IGBT的工作原理 | 第26-28页 |
| 3.2 Snapback现象的分析 | 第28-30页 |
| 3.3 RC IGBT的正向阻断电压分析 | 第30-32页 |
| 3.4 RC IGBT的关断特性分析 | 第32页 |
| 3.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 1200V RC Trench IGBT的设计 | 第33-57页 |
| 4.1 工艺流程设计 | 第33页 |
| 4.2 器件结构设计 | 第33-54页 |
| 4.2.1 元胞结构设计 | 第34-51页 |
| 4.2.2 终端结构设计 | 第51-54页 |
| 4.3 版图设计 | 第54-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第62-63页 |