| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究背景及目的意义 | 第9-10页 |
| 1.2 研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 GZO 薄膜制备研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 GZO 薄膜应用研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 GZO 薄膜的制备及表征方法 | 第19-27页 |
| 2.1 GZO 薄膜的制备 | 第19-23页 |
| 2.1.1 实验装置及原理 | 第19-20页 |
| 2.1.2 GZO 薄膜的制备工艺流程 | 第20-23页 |
| 2.1.3 GZO 薄膜的退火 | 第23页 |
| 2.2 GZO 薄膜的表征 | 第23-27页 |
| 2.2.1 GZO 薄膜的结构及成分表征 | 第23-24页 |
| 2.2.2 GZO 薄膜的性能表征 | 第24-25页 |
| 2.2.3 GZO 薄膜为 LED 透明电极的应用研究 | 第25-27页 |
| 第3章 GZO 薄膜的结构及光电性能研究 | 第27-46页 |
| 3.1 溅射压强对薄膜的结构影响 | 第27-29页 |
| 3.2 衬底温度对薄膜的结构影响 | 第29-31页 |
| 3.3 氧氩比对薄膜的结构影响 | 第31-33页 |
| 3.4 溅射功率对薄膜的影响研究 | 第33-45页 |
| 3.4.1 溅射功率对薄膜结构和成分的影响 | 第34-41页 |
| 3.4.2 溅射功率对薄膜电学性能的影响 | 第41页 |
| 3.4.3 溅射功率对薄膜光学性能的影响 | 第41-44页 |
| 3.4.4 不同溅射功率下 GZO 薄膜的品质因子 | 第44-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 退火对 GZO 薄膜的结晶及光学性能影响 | 第46-51页 |
| 4.1 退火对薄膜结晶的影响 | 第46-47页 |
| 4.2 退火对薄膜电学性能的影响 | 第47-48页 |
| 4.3 退火对薄膜光学性能的影响 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 GZO 在 GaN 基 LED 器件上的应用研究 | 第51-60页 |
| 5.1 厚度对 GZO 薄膜结构的影响 | 第51-54页 |
| 5.2 厚度对 GZO 薄膜电学性能的影响 | 第54-55页 |
| 5.3 厚度对 GZO 薄膜光学性能的影响 | 第55-56页 |
| 5.4 不同厚度 GZO 薄膜作为 LED 电流扩散层的研究 | 第56-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
