| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-30页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 压电材料简介 | 第12-16页 |
| 1.3 压电材料的发展历程 | 第16-19页 |
| 1.4 压电复合材料研究现状 | 第19-27页 |
| 1.4.1 压电复合材料主要类型 | 第19-21页 |
| 1.4.2 1-3 压电复合材料的研究现状 | 第21-24页 |
| 1.4.2.1 1-3 压电复合材料的研究进展 | 第21-22页 |
| 1.4.2.2 1-3 压电复合材料的理论模型 | 第22-24页 |
| 1.4.2.3 1-3 压电复合材料的特点 | 第24页 |
| 1.4.3 有序阵列 1-3 压电复合材料研究现状 | 第24-27页 |
| 1.5 pMUTs的研究现状和存在的问题 | 第27-29页 |
| 1.6 本论文的选题依据和研究内容 | 第29-30页 |
| 第二章 实验方法及测试 | 第30-45页 |
| 2.1 AlN压电复合材料制备 | 第30-36页 |
| 2.1.1 AlN薄膜制备技术简介 | 第30-33页 |
| 2.1.1.1 磁控溅射的基本原理原理 | 第30-31页 |
| 2.1.1.2 中频反应磁控溅射系统 | 第31-32页 |
| 2.1.1.3 中频反应磁控溅射的特点 | 第32-33页 |
| 2.1.2 AlN薄膜制备 | 第33-34页 |
| 2.1.3 1-3 压电复合材料的制备 | 第34-36页 |
| 2.2 PMN-PT压电复合材料制备 | 第36-39页 |
| 2.2.1 实验药品 | 第36-37页 |
| 2.2.2 PNM-PT纳米线制备 | 第37-38页 |
| 2.2.3 1-3 压电复合材料制备 | 第38-39页 |
| 2.3 分析测试方法 | 第39-45页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析 | 第39-40页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜和能谱仪 | 第40页 |
| 2.3.3 原子力显微镜 | 第40页 |
| 2.3.4 透射电子显微镜 | 第40-41页 |
| 2.3.5 拉曼散射光谱分析 | 第41页 |
| 2.3.6 X射线光电子能谱仪 | 第41-42页 |
| 2.3.7 薄膜厚度测试 | 第42页 |
| 2.3.8 声学性能测试 | 第42页 |
| 2.3.9 力学性能测试 | 第42-43页 |
| 2.3.10 压电系数测试 | 第43页 |
| 2.3.11 I-V测试 | 第43页 |
| 2.3.12 C-V测试 | 第43-44页 |
| 2.3.13 铁电性能测试 | 第44-45页 |
| 第三章 ALN薄膜与 1-3 压电复合材料的研究 | 第45-70页 |
| 3.1 溅射参数对AlN薄膜质量的影响 | 第45-54页 |
| 3.1.1 靶基距对薄膜质量的影响 | 第45-48页 |
| 3.1.2 溅射功率对薄膜质量的影响 | 第48-49页 |
| 3.1.3 溅射气压对薄膜质量的影响 | 第49-50页 |
| 3.1.4 氮分压对薄膜质量的影响 | 第50-54页 |
| 3.2 AlN薄膜制备工艺的优化和表征 | 第54-63页 |
| 3.2.1 AlN薄膜制备工艺的优化 | 第54-57页 |
| 3.2.2 电极材料的选取 | 第57-59页 |
| 3.2.3 AlN薄膜的表征 | 第59-63页 |
| 3.3 1-3 压电复合薄膜的制备和性能研究 | 第63-68页 |
| 3.3.1 1-3压电复合薄膜的制备 | 第63页 |
| 3.3.2 AlN体积含量对复合薄膜电性能的影响 | 第63-65页 |
| 3.3.3 聚合物对复合薄膜电学性能的影响 | 第65-68页 |
| 3.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第四章 PMN-PT纳米压电材料的制备与性能研究 | 第70-94页 |
| 4.1 PMN-PT纳米线水热合成简介 | 第70-72页 |
| 4.1.1 合成方法 | 第70-71页 |
| 4.1.2 合成机理 | 第71-72页 |
| 4.2 PMN-PT纳米线水热法合成工艺研究 | 第72-83页 |
| 4.2.1 PMN-PT纳米线成分范围 | 第72-73页 |
| 4.2.2 溶质溶浓度对水热合成的影响 | 第73-75页 |
| 4.2.3 矿化剂浓度对水热合成的影响 | 第75-76页 |
| 4.2.4 表面活性剂PAA浓度对水热合成的影响 | 第76-80页 |
| 4.2.5 反应温度对水热合成的影响 | 第80-82页 |
| 4.2.6 反应时间对水热合成的影响 | 第82-83页 |
| 4.3 PMN-0.3PT纳米线的表征和电学特性 | 第83-92页 |
| 4.3.1 PMN-0.3PT纳米线的表征 | 第83-87页 |
| 4.3.2 PMN-0.3PT纳米线的电学特性 | 第87-92页 |
| 4.4 本章小结 | 第92-94页 |
| 第五章 1-3 纳米压电复合材料的制备与性能研究 | 第94-117页 |
| 5.1 PMN-PT/PVDF压电复合材料的制备 | 第94-95页 |
| 5.2 PMN-PT纳米线含量对复合材料的结构和性能的影响 | 第95-101页 |
| 5.2.1 PMN-PT纳米线含量对复合材料结构的影响 | 第95-96页 |
| 5.2.2 PMN-PT纳米线含量对复合材料力学性能的影响 | 第96-98页 |
| 5.2.3 PMN-PT纳米线含量对复合材料电学性能的影响 | 第98-101页 |
| 5.3 1-3 压电复合材料的工作机理 | 第101-103页 |
| 5.4 影响复合材料输出特性的因素 | 第103-109页 |
| 5.4.1 压电相形态对复合材料性能的影响 | 第103-105页 |
| 5.4.2 聚合物基体对复合材料输出性能的影响 | 第105-106页 |
| 5.4.3 极化条件对复合材料输出性能的影响 | 第106-109页 |
| 5.5 PMN-PT/PVDF复合材料的应用 | 第109-113页 |
| 5.6 PMN-PT纳米有序阵列的探索 | 第113-115页 |
| 5.7 本章小结 | 第115-117页 |
| 第六章 结论 | 第117-120页 |
| 6.1 结论 | 第117-118页 |
| 6.2 创新点 | 第118-119页 |
| 6.3 展望 | 第119-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-134页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第134-135页 |
