| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 LED散热技术简介 | 第9-16页 |
| 1.1.1 大功率LED的热问题以及封装散热的重要性 | 第9页 |
| 1.1.2 LED散热技术 | 第9-16页 |
| 1.2 微热管技术与其发展现状 | 第16-22页 |
| 1.2.1 微热管工作原理 | 第16-17页 |
| 1.2.2 微热管技术发展现状 | 第17-21页 |
| 1.2.3 硅基平板微热管关键技术 | 第21-22页 |
| 1.3 课题研究背景及来源 | 第22-23页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 2 硅基蓄水池结构平板微热管研制 | 第25-35页 |
| 2.1 硅基蓄水池平板微热管设计思想 | 第25页 |
| 2.2 基板掩膜结构设计及工艺实现 | 第25-30页 |
| 2.2.1 基板结构及掩膜设计 | 第26页 |
| 2.2.2 基于MEMS套刻工艺的基板制作 | 第26-29页 |
| 2.2.3 基板表面性能研究及处理 | 第29-30页 |
| 2.3 玻璃盖板制作及分析 | 第30-33页 |
| 2.3.1 高硅Pyrex玻璃盖板制作 | 第30-32页 |
| 2.3.2 边界效应对玻璃盖板成品的影响 | 第32-33页 |
| 2.4 硅基蓄水池平板微热管主体的静电键合 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 氟硅烷修饰盖板的微热管性能影响研究 | 第35-43页 |
| 3.1 改性疏水盖板研究及实现工艺 | 第35-38页 |
| 3.1.1 玻璃表面疏水改性理论研究 | 第35-36页 |
| 3.1.2 氟硅烷溶液制备 | 第36页 |
| 3.1.3 玻璃盖板疏水化及效果 | 第36-38页 |
| 3.2 硅基板双面结构设计及制作 | 第38-40页 |
| 3.2.1 基板沟道结构与掩膜设计 | 第38页 |
| 3.2.2 基板电极结构与掩膜设计 | 第38-40页 |
| 3.3 疏水盖板与硅基板的光刻胶封装 | 第40-41页 |
| 3.4 胶接微热管的可靠性 | 第41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 4 硅基微热管的微量灌注及封装 | 第43-48页 |
| 4.1 微热管灌封机理 | 第43页 |
| 4.2 微热管灌封系统 | 第43-46页 |
| 4.2.1 蠕动泵灌封系统 | 第43-45页 |
| 4.2.2 负压通道量化灌注法 | 第45-46页 |
| 4.3 SiO2纳米工质探索 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 改进微热管热性能测试及结果分析 | 第48-61页 |
| 5.1 微热管测温系统及原理 | 第48-51页 |
| 5.1.1 测温系统原理 | 第48页 |
| 5.1.2 测温系统搭建模块 | 第48-50页 |
| 5.1.3 测温系统测温过程 | 第50-51页 |
| 5.2 改进微热管的热性能测试 | 第51-57页 |
| 5.2.1 蓄水池结构微热管的热性能测试 | 第51-54页 |
| 5.2.2 盖板改性微热管的热性能测试 | 第54-57页 |
| 5.3 纳米工质对微热管的热性能影响测试及分析 | 第57-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |