| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 本文研究背景和意义 | 第12-16页 |
| 1.1.1 可调滤波器是实现电子信息系统小型化的重要技术 | 第12页 |
| 1.1.2 RF MEMS开关制约可调滤波器的发展 | 第12-16页 |
| 1.2 RF MEMS开关与可调滤波器国外发展现状 | 第16-20页 |
| 1.3 RF MEMS开关与可调滤波器国内发展现状 | 第20-23页 |
| 1.4 研究现状分析 | 第23-24页 |
| 1.5 论文主要内容和章节安排 | 第24-28页 |
| 第二章 MEMS电容式开关力学基础理论研究 | 第28-58页 |
| 2.1 引言 | 第28-29页 |
| 2.2 驱动电压的微带等效补偿模型 | 第29-32页 |
| 2.3 基于电极拓扑的MEMS开关力学模型研究 | 第32-41页 |
| 2.3.1 MEMS开关静态特性分析 | 第32-39页 |
| 2.3.2 MEMS开关动态特性分析 | 第39-41页 |
| 2.4 高寿命MEMS电容式开关固支梁结构设计与优化 | 第41-57页 |
| 2.4.1 MEMS电容式开关介质充电失效模型研究 | 第41-43页 |
| 2.4.2 传统低驱动电压MEMS开关固支梁问题分析 | 第43-47页 |
| 2.4.3 MEMS梁结构弹性系数与残余应力关系分析 | 第47-53页 |
| 2.4.4 椭圆环形梁结构的MEMS开关力学模型研究 | 第53-55页 |
| 2.4.5 性能测试与对比 | 第55-57页 |
| 2.5 小结 | 第57-58页 |
| 第三章 CPW传输线电路特性研究与分析 | 第58-78页 |
| 3.1 引言 | 第58-59页 |
| 3.2 CPW地线宽度与特性阻抗变化规律 | 第59-62页 |
| 3.3 CPW非连续结构电路模型与参数计算 | 第62-73页 |
| 3.3.1 非连续结构的分布电容模型建立与分析 | 第62-63页 |
| 3.3.2 基于第一类椭圆积分的电路参数计算模型 | 第63-73页 |
| 3.4 CPW短路线电感计算 | 第73-75页 |
| 3.5 CPW渐变线反射系数计算 | 第75-76页 |
| 3.6 小结 | 第76-78页 |
| 第四章 MEMS电容式开关研制与优化 | 第78-104页 |
| 4.1 引言 | 第78页 |
| 4.2 大通/断态电容比的MEMS开关研究 | 第78-92页 |
| 4.2.1 传统MEMS开关的电容比计算与分析 | 第78-80页 |
| 4.2.2 基于电容-电阻互调谐元件的大通/断态电容比开关电路模型 | 第80-82页 |
| 4.2.3 大通/断态电容比的低间距MEMS开关结构设计 | 第82-85页 |
| 4.2.4 阻抗匹配与仿真分析 | 第85-87页 |
| 4.2.5 性能测试与分析 | 第87-92页 |
| 4.3 基于CPW非连续地线结构的MEMS开关研究 | 第92-101页 |
| 4.3.1 基于CPW非连续地线结构的MEMS开关研制 | 第92-96页 |
| 4.3.2 混合空气桥和CPW非连续地线结构的MEMS开关研制 | 第96-99页 |
| 4.3.3 基于非对称CPW非连续地线结构的三锚MEMS开关研制 | 第99-101页 |
| 4.4 小结 | 第101-104页 |
| 第五章 MEMS开关在可调滤波器中的应用 | 第104-130页 |
| 5.1 引言 | 第104页 |
| 5.2 基于MEMS开关与大电感短线的带通滤波器 | 第104-111页 |
| 5.2.1 电路参数与可调范围关联性分析 | 第104-105页 |
| 5.2.2 可调滤波器模型设计 | 第105-107页 |
| 5.2.3 基于ABCD矩阵的电路参数提取 | 第107-109页 |
| 5.2.4 性能测试与分析 | 第109-111页 |
| 5.3 半波树形缝隙结构二阶带通滤波器 | 第111-123页 |
| 5.3.1 半波树形缝隙结构二阶带通滤波器模型设计与仿真分析 | 第111-114页 |
| 5.3.2 基于MEMS开关的树形缝隙结构可调带通滤波器 | 第114-123页 |
| 5.4 双传输零点MEMS可调带阻滤波器 | 第123-128页 |
| 5.4.1 双传输零点谐振器电路模型 | 第123-124页 |
| 5.4.2 方形环状缝隙谐振器与三级级联滤波器结构设计 | 第124-128页 |
| 5.5 小结 | 第128-130页 |
| 第六章 实验加工与性能测试分析 | 第130-146页 |
| 6.1 引言 | 第130页 |
| 6.2 MEMS开关加工方案 | 第130-137页 |
| 6.2.1 低驱动电压MEMS开关加工方案设计 | 第130-132页 |
| 6.2.2 基于MIM电容器的MEMS开关加工方案设计 | 第132-134页 |
| 6.2.3 基于CMP的聚酰亚胺平坦化工艺研究 | 第134-137页 |
| 6.3 MEMS开关与可调滤波器测试与分析 | 第137-139页 |
| 6.4 MEMS开关与滤波器修正模型 | 第139-144页 |
| 6.5 小结 | 第144-146页 |
| 第七章 总结与展望 | 第146-148页 |
| 7.1 主要研究内容总结 | 第146-147页 |
| 7.2 RF MEMS开关技术展望 | 第147-148页 |
| 参考文献 | 第148-162页 |
| 缩略语 | 第162-164页 |
| 致谢 | 第164-166页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第166-167页 |
| 攻读学位期间申请专利目录 | 第167页 |
