| 摘要 | 第5-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第27-39页 |
| 1.1 MEMS陀螺发展 | 第27-34页 |
| 1.1.1 MEMS技术的发展 | 第27-30页 |
| 1.1.2 MEMS陀螺的历史和现状 | 第30-34页 |
| 1.2 MEMS陀螺的应用 | 第34-35页 |
| 1.3 论文研究内容和意义 | 第35-39页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第35-36页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第36-37页 |
| 1.3.3 论文研究的意义 | 第37-39页 |
| 第二章 基于无驱动结构的微机械陀螺的理论研究 | 第39-57页 |
| 2.1 微机械陀螺结构及基本原理 | 第39-40页 |
| 2.2 无驱动结构微机械陀螺动力学方程 | 第40-47页 |
| 2.2.1 坐标系统变换 | 第40-42页 |
| 2.2.2 动力学方程 | 第42-47页 |
| 2.3 参数分析 | 第47-56页 |
| 2.3.1 摆片阻尼系数 | 第48-50页 |
| 2.3.2 梁的扭转刚度 | 第50-56页 |
| 2.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第三章 基于无驱动结构的微机械陀螺的结构研究 | 第57-79页 |
| 3.1 梁结构分析 | 第57-58页 |
| 3.2 敏感元件分析 | 第58-77页 |
| 3.2.1 模态分析 | 第63-64页 |
| 3.2.2 静力学分析 | 第64-67页 |
| 3.2.3 频率响应分析 | 第67页 |
| 3.2.4 敏感元件静电学分析 | 第67-69页 |
| 3.2.5 敏感元件表面结构的分析 | 第69-71页 |
| 3.2.6 基于冲击效用下梁结构的研究 | 第71-72页 |
| 3.2.7 表面缺陷对微机械陀螺性能影响仿真 | 第72-75页 |
| 3.2.8 质心偏移对微机械陀螺性能影响仿真 | 第75-77页 |
| 3.3 本章小结 | 第77-79页 |
| 第四章 无驱动结构的微机械陀螺制作工艺研究 | 第79-104页 |
| 4.1 制作步骤设计 | 第79-80页 |
| 4.2 氧化工艺 | 第80-85页 |
| 4.2.1 SiO_2膜的生长速率和厚度的计算 | 第81-82页 |
| 4.2.2 线性和抛物线速率系数 | 第82-83页 |
| 4.2.3 氧化层厚度试验 | 第83-85页 |
| 4.3 光刻工艺 | 第85-91页 |
| 4.3.1 光刻胶 | 第85-86页 |
| 4.3.2 光刻工艺流程 | 第86-87页 |
| 4.3.3 光刻工艺技术问题 | 第87-91页 |
| 4.4 刻蚀工艺 | 第91-96页 |
| 4.4.1 干法刻蚀 | 第92页 |
| 4.4.2 湿法刻蚀 | 第92-96页 |
| 4.5 溅射工艺 | 第96-100页 |
| 4.5.1 X射线衍射分析 | 第98-100页 |
| 4.5.2 原子力显微镜图像分析 | 第100页 |
| 4.5.3 电阻率分析 | 第100页 |
| 4.6 性能测试 | 第100-102页 |
| 4.6.1 测量范围 | 第100-101页 |
| 4.6.2 分辨率 | 第101页 |
| 4.6.3 非线性度 | 第101页 |
| 4.6.4 标度因数 | 第101-102页 |
| 4.6.5 零位电压 | 第102页 |
| 4.6.6 零位漂移 | 第102页 |
| 4.6.7 冲击筛选试验 | 第102页 |
| 4.6.8 测试结果 | 第102页 |
| 4.7 本章小结 | 第102-104页 |
| 第五章 无驱动结构的微机械陀螺结构优化和工艺改进研究 | 第104-123页 |
| 5.1 制作工艺改进 | 第104-106页 |
| 5.2 喷胶工艺 | 第106-109页 |
| 5.3 结构改进分析 | 第109-115页 |
| 5.4 性能测试 | 第115-122页 |
| 5.4.1 陀螺分析 | 第115-116页 |
| 5.4.2 冲击试验 | 第116-122页 |
| 5.4.3 测试结果 | 第122页 |
| 5.5 本章小结 | 第122-123页 |
| 第六章 基于无驱动结构的微机械陀螺的可靠性分析与SPC统计技术 | 第123-148页 |
| 6.1 无驱动结构的微机械陀螺的风险分析 | 第123-128页 |
| 6.1.1 风险识别 | 第123-124页 |
| 6.1.2 风险分析 | 第124-127页 |
| 6.1.3 风险定量评估 | 第127-128页 |
| 6.2 无驱动结构的微机械陀螺可靠性设计 | 第128-131页 |
| 6.2.1 产品结构框图 | 第128页 |
| 6.2.2 可靠性分配 | 第128-129页 |
| 6.2.3 可靠性预计 | 第129-131页 |
| 6.3 基于无驱动结构的微机械陀螺的SPC统计技术 | 第131-146页 |
| 6.3.1 SPC应用基础 | 第131页 |
| 6.3.2 控制图原理 | 第131-133页 |
| 6.3.3 SPC步骤 | 第133-134页 |
| 6.3.4 评价对象的确定 | 第134-136页 |
| 6.3.5 工艺参数数据的采集 | 第136页 |
| 6.3.6 控制图的正确选用 | 第136-138页 |
| 6.3.7 控制图的绘制 | 第138-146页 |
| 6.4 本章小结 | 第146-148页 |
| 第七章 结论与展望 | 第148-151页 |
| 参考文献 | 第151-161页 |
| 附录 | 第161-163页 |
| 致谢 | 第163-165页 |
| 发表学术论文目录 | 第165-166页 |
