| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 前言 | 第11-16页 |
| 1.1 大行程变形镜的国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2 本文研究背景及主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 少单元数边缘驱动变形反射镜的基础理论 | 第16-25页 |
| 2.1 变形镜的影响函数和交连值 | 第16页 |
| 2.2 Zernike多项式 | 第16-18页 |
| 2.3 最小二乘法 | 第18-19页 |
| 2.4 变形镜拟合残差面形 | 第19-20页 |
| 2.5 单驱动器边缘驱动变形镜力矩模型 | 第20-21页 |
| 2.6 瓶形边缘驱动变形镜力矩模型 | 第21-25页 |
| 第三章 单驱动器边缘驱动变形镜设计及像差校正能力分析 | 第25-41页 |
| 3.1 单驱动器边缘驱动变形镜的结构设计 | 第25-27页 |
| 3.1.1 校正离焦项的单驱动变形镜结构 | 第25页 |
| 3.1.2 校正像散项的单驱动变形镜结构 | 第25-26页 |
| 3.1.3 校正慧差项的单驱动变形镜结构 | 第26-27页 |
| 3.1.4 材料选择 | 第27页 |
| 3.2 仿真计算方法 | 第27-29页 |
| 3.3 单驱动器边缘驱动变形镜的参数选择 | 第29-38页 |
| 3.3.1 校正离焦项的单驱动器变形镜结构参数选择 | 第29-32页 |
| 3.3.2 校正像散项的单驱动器变形镜结构参数选择 | 第32-35页 |
| 3.3.3 校正慧差项的单驱动器变形镜结构参数选择 | 第35-38页 |
| 3.4 最佳参数下对低阶像差校正的有限元仿真 | 第38-41页 |
| 第四章 四臂边缘驱动变形镜设计及校正像差能力分析 | 第41-53页 |
| 4.1 边缘驱动变形镜的结构设计 | 第41-42页 |
| 4.2 内圆直径的参数选择 | 第42-44页 |
| 4.3 内圆厚度的参数选择 | 第44-46页 |
| 4.4 外圆厚度的参数选择 | 第46-48页 |
| 4.5 镜面厚度的参数选择 | 第48-50页 |
| 4.6 最佳参数下对低阶像差校正的有限元仿真 | 第50-53页 |
| 结束语 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第58页 |
