| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.1 微光学及微光学元件 | 第9-10页 |
| 1.1.2 微透镜及微透镜阵列 | 第10页 |
| 1.2 微透镜制作技术研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 微透镜的研究进展 | 第10-11页 |
| 1.2.2 微透镜及其阵列制作技术 | 第11-16页 |
| 1.3 微透镜及其阵列在航空航天领域的主要应用及前景 | 第16-19页 |
| 1.4 课题研究意义及研究内容 | 第19-21页 |
| 1.4.1 课题选题意义 | 第19-20页 |
| 1.4.2 本文的研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 折射式微透镜加工及面形控制的实验方法 | 第21-30页 |
| 2.1 实验材料及实验设备 | 第21-25页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第21-22页 |
| 2.1.2 实验设备介绍 | 第22-25页 |
| 2.2 实验步骤 | 第25-28页 |
| 2.2.1 材料表面机械压痕实验 | 第25-27页 |
| 2.2.2 压痕退火处理 | 第27页 |
| 2.2.3 碱性溶液浸泡实验 | 第27页 |
| 2.2.4 压痕几何形貌测量 | 第27-28页 |
| 2.3 面形控制的实验方法 | 第28-29页 |
| 2.3.1 压痕载荷变化 | 第28页 |
| 2.3.2 压头几何结构变化 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 实验结果及讨论分析 | 第30-47页 |
| 3.1 脆性材料表面机械压痕机理 | 第30-32页 |
| 3.1.1 压痕变形机制 | 第30-31页 |
| 3.1.2 压痕压密区域微观结构分析 | 第31-32页 |
| 3.2 压密区域加速溶解现象机理分析 | 第32-37页 |
| 3.2.1 未经退火处理的压痕形貌 | 第33-35页 |
| 3.2.2 经过退火处理的压痕形貌 | 第35-36页 |
| 3.2.3 加速溶解现象机理分析 | 第36-37页 |
| 3.3 微透镜面形控制与结果讨论 | 第37-46页 |
| 3.3.1 微透镜面形随时间变化规律 | 第37-39页 |
| 3.3.2 微透镜面形随浸泡时间变化模型 | 第39-42页 |
| 3.3.3 微透镜面形随压痕载荷变化规律 | 第42页 |
| 3.3.4 压头几何结构对微透镜面形的影响 | 第42-45页 |
| 3.3.5 微透镜阵列的均匀性分析 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 微透镜阵列光学性能仿真测试 | 第47-52页 |
| 4.1 微透镜阵列的Zemax仿真 | 第47-50页 |
| 4.1.1 微透镜阵列光学性能测试的仿真原理 | 第47-48页 |
| 4.1.2 微透镜阵列的Zemax仿真 | 第48-50页 |
| 4.2 微透镜焦距检测 | 第50-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 本文总结 | 第52-53页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |