| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 痕量气体杂质分析研究内容及研究现状 | 第8-11页 |
| 1.3 选题意义及课题主要工作 | 第11-14页 |
| 第二章 痕量气体杂质分析方法 | 第14-26页 |
| 2.1 痕量气体组成成分测量方法 | 第14-19页 |
| 2.1.1 气相色谱法 | 第14-15页 |
| 2.1.2 光谱法 | 第15-17页 |
| 2.1.3 四极质谱法 | 第17-18页 |
| 2.1.4 方法对比总结 | 第18-19页 |
| 2.2 气体预浓缩方法 | 第19-23页 |
| 2.2.1 加压浓缩法 | 第19-20页 |
| 2.2.2 溶剂萃取法 | 第20页 |
| 2.2.3 吸气剂法 | 第20-22页 |
| 2.2.4 冷凝浓缩法 | 第22-23页 |
| 2.2.5 方法对比总结 | 第23页 |
| 2.3 小结 | 第23-26页 |
| 第三章 痕量杂质冷凝质谱分析 | 第26-56页 |
| 3.1 实验方案设计 | 第26-33页 |
| 3.1.1 理论分析 | 第26-30页 |
| 3.1.1.1 低温吸附理论 | 第26-27页 |
| 3.1.1.2 理论分析 | 第27-30页 |
| 3.1.2 可调浓缩器的设计 | 第30-32页 |
| 3.1.3 实验装置 | 第32-33页 |
| 3.2 冷凝浓缩法实验研究 | 第33-53页 |
| 3.2.1 未烘烤真空系统本底冷凝浓缩实验研究 | 第33-36页 |
| 3.2.1.1 分析室本底 | 第33-34页 |
| 3.2.1.2 冷凝浓缩后扫描 | 第34-35页 |
| 3.2.1.3 比较不同冷凝时间的效果 | 第35-36页 |
| 3.2.2 烘烤后真空系统本底冷凝浓缩实验研究 | 第36-41页 |
| 3.2.2.1 分析室本底 | 第37-38页 |
| 3.2.2.2 冷凝浓缩后扫描 | 第38页 |
| 3.2.2.3 比较不同冷凝时间的效果 | 第38-41页 |
| 3.2.2.4 验证冷凝浓缩法冷凝效果 | 第41页 |
| 3.2.3 充入CH_4冷凝浓缩实验研究 | 第41-44页 |
| 3.2.4 充入空气冷凝浓缩实验研究 | 第44-46页 |
| 3.2.5 充入Ar冷凝浓缩实验研究 | 第46-50页 |
| 3.2.6 增加冷凝浓缩率的实验研究 | 第50-53页 |
| 3.3 小结 | 第53-56页 |
| 第四章 冷凝浓缩法提高四极质谱计分析灵敏度计算 | 第56-60页 |
| 4.1 四极质谱计分析灵敏度的提高 | 第56-57页 |
| 4.2 气体冷凝系数的确定 | 第57-59页 |
| 4.3 冷凝浓缩法提高四极质谱计分析灵敏度实验验证 | 第59页 |
| 4.4 小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 全文总结 | 第60-61页 |
| 5.2 展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 作者简介 | 第70页 |