掺杂铁酸铋薄膜的制备及其光伏效应研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 铁电材料的特性 | 第10-12页 |
| 1.2.1 多铁材料的铁电性 | 第10-11页 |
| 1.2.2 多铁材料的介电性 | 第11-12页 |
| 1.3 多铁材料的种类及应用 | 第12-14页 |
| 1.3.1 单相多铁材料 | 第12-13页 |
| 1.3.2 复合多铁材料 | 第13-14页 |
| 1.4 铁酸铋的研究及进展 | 第14-17页 |
| 1.4.1 对BiFeO_3材料的认识 | 第14-15页 |
| 1.4.2 BFO材料研究的发展 | 第15-16页 |
| 1.4.3 BFO材料研究的突破 | 第16页 |
| 1.4.4 BFO材料研究的热潮 | 第16-17页 |
| 1.5 本文的研究内容及目的 | 第17-19页 |
| 1.5.1.薄膜的制备工艺 | 第17页 |
| 1.5.2.薄膜掺杂改性研究 | 第17-19页 |
| 第2章 BFO薄膜的制备方法与理论基础 | 第19-23页 |
| 2.1 常用的几种薄膜制备方法 | 第19-20页 |
| 2.2 磁控溅射工艺的基本原理及优点 | 第20-21页 |
| 2.2.1 磁控溅射的基本原理 | 第20页 |
| 2.2.2 磁控溅射的优点 | 第20-21页 |
| 2.3 BFO研究的主要问题 | 第21-22页 |
| 2.3.1 BFO的优点 | 第21页 |
| 2.3.2 BFO的缺点 | 第21-22页 |
| 2.3.3 BFO的掺杂 | 第22页 |
| 2.4 本文的研究思路 | 第22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 实验设备与方法 | 第23-30页 |
| 3.1 实验设备与材料 | 第23-24页 |
| 3.1.1 实验设备 | 第23页 |
| 3.1.2 实验材料 | 第23-24页 |
| 3.2 铁酸铋薄膜的制备 | 第24-28页 |
| 3.2.1 衬底的准备 | 第24页 |
| 3.2.2 BFO薄膜的制备 | 第24-28页 |
| 3.3 薄膜的退火 | 第28-29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 BFO薄膜的晶格结构和表面形貌的研究 | 第30-54页 |
| 4.1 XRD分析 | 第31-40页 |
| 4.1.1 不同衬底温度的影响 | 第32-34页 |
| 4.1.2 不同溅射压强的影响 | 第34-36页 |
| 4.1.3 不同氧氩流量比的影响 | 第36-37页 |
| 4.1.4 不同退火温度的影响 | 第37-39页 |
| 4.1.5 不同溅射时长的影响 | 第39-40页 |
| 4.2 拉曼图谱分析 | 第40-45页 |
| 4.2.1 工作压强对薄膜的影响 | 第41-42页 |
| 4.2.2 退火对薄膜的影响 | 第42-43页 |
| 4.2.3 不同镝掺杂对薄膜的影响 | 第43-44页 |
| 4.2.4 不同氧氩流量比对薄膜的影响 | 第44页 |
| 4.2.5 衬底温度对薄膜的影响 | 第44-45页 |
| 4.3 SEM分析 | 第45-53页 |
| 4.3.1 退火对薄膜的影响 | 第47-49页 |
| 4.3.2 Dy掺杂量对薄膜的影响 | 第49-50页 |
| 4.3.3 溅射时长对薄膜的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.4 工作压强对薄膜的影响 | 第51-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 BFO薄膜的光伏特性研究 | 第54-64页 |
| 5.1 BFO的光伏效应现象 | 第54-55页 |
| 5.2 BFO薄膜的光伏效应机制 | 第55-58页 |
| 5.3 BFO的光伏效应测试 | 第58-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 本文主要结果的总结 | 第64页 |
| 6.2 未来研究方向的展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文和研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
