| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1. 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 硬脆材料切割加工技术国内外研究状况及发展趋势 | 第11-19页 |
| 1.2.1 金刚石线切割机床发展状况 | 第11-17页 |
| 1.2.2 金刚石线丝制造技术发展状况 | 第17-18页 |
| 1.2.3 金刚石线切割加工机理的研究状况 | 第18-19页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第19-22页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第19页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第19-20页 |
| 1.3.3 研究思路 | 第20-22页 |
| 2. 金刚石线切割机切割机理研究 | 第22-30页 |
| 2.1 硬脆性材料断裂力学基础 | 第22-24页 |
| 2.1.1 钝压头的裂纹扩展 | 第22-23页 |
| 2.1.2 尖锐压头的裂纹扩展 | 第23-24页 |
| 2.2 硬脆材料脆塑转变理论 | 第24-25页 |
| 2.3 硬脆材料切割去除机理 | 第25-27页 |
| 2.3.1 金刚石线磨粒模型 | 第25页 |
| 2.3.2 单个颗粒平均切削深度计算 | 第25-26页 |
| 2.3.3 单个颗粒实际切削深度计算 | 第26-27页 |
| 2.4 金刚石线切割效率分析 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 3. 精密切割加工关键工艺装备的设计 | 第30-39页 |
| 3.1 工艺要求 | 第30页 |
| 3.2 机床结构设计 | 第30-35页 |
| 3.2.1 TOP-DOWN关联设计 | 第30-31页 |
| 3.2.2 机床整体方案确定 | 第31页 |
| 3.2.3 机床进给系统设计 | 第31-32页 |
| 3.2.4 精密金刚石环线制造工艺及特性分析 | 第32页 |
| 3.2.5 环线切割框架设计 | 第32-33页 |
| 3.2.6 恒张力闭环控制系统设计 | 第33-35页 |
| 3.3 机床动静态特性分析 | 第35-39页 |
| 3.3.1 关键部件静态特性分析 | 第35-37页 |
| 3.3.2 关键部件动态特性分析 | 第37-39页 |
| 4. 机床装配与精度调试 | 第39-48页 |
| 4.1 机床装配质量控制节点 | 第39-40页 |
| 4.2 运动副几何误差误差检测 | 第40-46页 |
| 4.2.1 定位误差检测 | 第41-44页 |
| 4.2.2 直线度误差检测 | 第44-46页 |
| 4.3 环线框架精度调试 | 第46-47页 |
| 4.3.1 主、从动轮的径向跳动，轴向窜动 | 第46-47页 |
| 4.3.2 导轮的平衡 | 第47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 5. 环线电镀金刚石线锯实验研究 | 第48-63页 |
| 5.1 KDP晶体切割实验 | 第48-53页 |
| 5.1.1 表面质量综合评定 | 第48-52页 |
| 5.1.2 切割工艺参数对崩边的影响 | 第52-53页 |
| 5.2 旋转切割工艺下Nd:YAG晶体圆片切割实验 | 第53-58页 |
| 5.2.1 工件不同切割方式对表面质量的影响 | 第53-56页 |
| 5.2.2 旋转模式切割工艺参数对表面质量的影响 | 第56-58页 |
| 5.3 金刚石线粒度切割性能及磨损分析 | 第58-61页 |
| 5.3.1 两种切割模式下金刚石线使用情况对比 | 第58-60页 |
| 5.3.2 旋转切割模式不同线丝使用寿命对比 | 第60-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 6. 总结与展望 | 第63-66页 |
| 6.1 论文的总结 | 第63-64页 |
| 6.2 论文创新点 | 第64-65页 |
| 6.3 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 附录：攻读学位期间取得的研究成果 | 第71页 |